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中級(jí)會(huì)員 | 第8年

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TEM-415-16氦氣過濾器上?;壑荡罅楷F(xiàn)貨

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GasPro公司 TEM-400系列過濾器設(shè)計(jì)用于3納米顆粒截留率高達(dá)75 scfm

溫度高達(dá)80C(176F)。ePTFE膜(0.21m2/2.3平方英尺)使用聚丙烯支撐結(jié)構(gòu)封閉在不銹鋼316L外殼,具有良好的流動(dòng)性和耐化學(xué)性。使用標(biāo)準(zhǔn)Viton?o形圈(其他o形圈材料可在重新測(cè)試時(shí)獲得)。

應(yīng)用

•一般和工藝惰性設(shè)施氣體半導(dǎo)體、平板顯示器和其他高純度

應(yīng)用。

•清潔干燥空氣,用于關(guān)鍵計(jì)量、檢查和光刻應(yīng)用

規(guī)格

•過濾等級(jí)

我們的多孔ePTFE過濾器提供高效的顆粒

保留3nm。

•最高工作溫度*80°C(176°F)。

建議更換:

在69oC(156oF)以上運(yùn)行6個(gè)月。

•最大工作壓力

17.2 bar(250 psig)@20°C(68°F)。

•最大正向流量壓差

20oC(68oF):6.0 bar(87磅/平方英寸)

80oC(176oF):4.0bar(58磅/平方英寸)


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