弗萊貝格MDPinline ingot在線(xiàn)硅錠成像設(shè)備

對(duì)高通量要求的PV工廠(chǎng)中多晶和類(lèi)單晶錠進(jìn)行電學(xué)參數(shù)測(cè)試表征，在1mm分辨率下的總測(cè)量時(shí)間少于一分鐘。

產(chǎn)品特點(diǎn)
檢測(cè)符合半導(dǎo)體標(biāo)準(zhǔn)SEMI PV9-1110
對(duì)半導(dǎo)體材料電學(xué)參數(shù)進(jìn)行非接觸和非破壞性測(cè)試
對(duì)少子壽命參數(shù)可做面掃描測(cè)試
對(duì)不可見(jiàn)缺陷的可視化測(cè)試具有很高靈敏度
對(duì)鐵濃度分布做面掃描自動(dòng)設(shè)置硅錠切割標(biāo)準(zhǔn)
對(duì)硅錠少子壽命的穩(wěn)態(tài)測(cè)試
自動(dòng)化的集成設(shè)計(jì)低成本測(cè)試
對(duì)光伏級(jí)別的硅錠進(jìn)行2D成像掃描測(cè)試，
對(duì)一個(gè)硅錠，可在一分鐘內(nèi)完成分辨率低于1mm的成像測(cè)試

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

MDPinline ingot對(duì)有高通量要求PV工廠(chǎng)里的多晶硅錠電學(xué)參數(shù)，具備在線(xiàn)測(cè)試速度：在1分鐘內(nèi)可完成分辨率大于1mm的成像掃描測(cè)試，同時(shí)可完成電導(dǎo)類(lèi)型轉(zhuǎn)變的空間分布掃描和電阻率的線(xiàn)掃描測(cè)試?？蛻?hù)制定的硅錠切割標(biāo)準(zhǔn)，可通過(guò)數(shù)據(jù)中心，對(duì)下一代PV工廠(chǎng)的材料制備進(jìn)行全自動(dòng)監(jiān)控，完成對(duì)材料生長(zhǎng)質(zhì)量控制，坩堝狀況監(jiān)控，以及各種失效分析。

弗萊貝格MDPinline ingot在線(xiàn)硅錠成像設(shè)備

MDPinline ingot系統(tǒng)是范圍內(nèi)的測(cè)量工具，可用于對(duì)多晶硅和類(lèi)單晶硅錠進(jìn)
行電學(xué)表征。專(zhuān)為高通量工廠(chǎng)中的單個(gè)晶錠測(cè)試而開(kāi)發(fā)，每個(gè)晶錠都可在1分鐘內(nèi)完成所有面的電學(xué)
參數(shù)表征測(cè)試參數(shù)包括1mm分辨率的少子壽命面掃描分布，電導(dǎo)類(lèi)型分布圖，以及電阻率線(xiàn)掃描分布圖。

該系統(tǒng)包括數(shù)據(jù)處理，傳輸和存儲(chǔ)，以及評(píng)估系統(tǒng)。提供全自動(dòng)的硅錠切割位置，用于產(chǎn)能，材料質(zhì)量監(jiān)控，坩堝選擇和工藝優(yōu)化等。