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超聲波噴涂系統(tǒng)已被證明適用于需要均勻、可重復的光刻膠或聚酰亞胺薄膜涂層的各種應用。通過控制從亞微米到 100 微米以上的厚度并能夠涂覆任何形狀或尺寸，涂層系統(tǒng)是旋轉和傳統(tǒng)噴涂等其他涂層技術的可行替代方案。

聚酰亞胺和光刻膠涂層的常見應用包括但不限于MEMS、鏡頭、微流體設備、微電子和過濾器。涂層系統(tǒng)能夠在平面和 3D 基板上進行涂層，通常包括硅晶片、玻璃、陶瓷和金屬。

超聲波噴涂是一種簡單、經濟且可重復的光刻膠和聚酰亞胺涂層工藝。超聲波鍍膜系統(tǒng)可以使用簡單的分層技術精確控制流速、鍍膜速度和沉積量。低速噴霧成型將霧化噴霧定義為精確、可控的圖案，避免過度噴涂，同時產生非常薄、均勻的層。

超聲波聚酰亞胺和光刻膠涂層的優(yōu)勢：

• 各種表面輪廓的均勻薄膜覆蓋。

• 化學和涂層性能的高度靈活性。

• 無堵塞霧化噴霧。

• 傳輸效率高，浪費極少。

• 高度可重復的成熟噴涂工藝。

超聲波噴涂系統(tǒng)使用高頻聲音振動產生由數學定義的液滴組成的柔和霧氣。消除了堵塞，因為沒有使用壓力來產生噴霧，并且液滴具有非常窄的液滴分布尺寸，進一步有助于沉積層的均勻性。