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愛德華螺桿真空泵IX80/160維修
東莞市揖電真空機電設備有限公司專業(yè)從事愛德華真空泵設備維修15年,一直秉承著專業(yè)的維修技術(shù),高效的服務態(tài)度來對待可以,常年服務去漢能,中車集團,富士康集團,信利集團等,有著專業(yè)的維修設備和技術(shù)人員,可以全國范圍內(nèi)上門維修保養(yǎng),提供各種進口真空泵配件及維修包,真空泵油脂等。
愛德華螺桿真空泵IX80/160產(chǎn)品功能與優(yōu)勢:
優(yōu)化了設施消耗。
無需預防性維護。
懸臂軸和特殊的異型轉(zhuǎn)子便于顆粒的處理。
在節(jié)省電機功率的同時提高了工作繁重的 CVD 應用條件下的穩(wěn)定性。
耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體。
較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的安全保證。
整體式軸桿無需使用電機聯(lián)結(jié)器,而第五級泵消除了使用消音器的需要并消除了顆粒堆積,從而降低了總體占地面積。
愛德華螺桿真空泵IX系列產(chǎn)品是抽氣量很小的螺桿系列產(chǎn)品,一般是在半導體實驗室使用的較為廣泛一點,一般在工業(yè)流水線上面就會使用較大抽速的愛德華螺桿真空泵系列,這樣會大大的增加產(chǎn)能,提高公司的利潤和效率。
Edwards 高級半導體真空泵已經(jīng)過現(xiàn)場應用證明,可以按照工作標準運行。通過延長使用壽命、提高運行時間并提高生產(chǎn)率,同時地減小占地面積、降低運行成本,實現(xiàn)了高的可靠性和性能。
iH 系列為難以執(zhí)行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高可靠性。
行業(yè)應用:
負載鎖
輸送
計量
平版印刷
PVD 制程
PVD 預清潔
RTA
剝離/灰化
刻蝕
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD
技術(shù)參數(shù)
峰值速度 | 103 m3h-1 |
61 cfm | |
1717 l min-1 | |
極限真空 | 1 x 10-2 mbar |
7.5 x 10-3 Torr | |
1 Pa | |
典型軸封氮流量 | 4 slm |
進氣口連接 | ISO63 |
出口連接 | NW40 |
15 psi 壓降下典型冷卻水流量 | 120 l h-1 |
2 l min-1 | |
重量 | 240 kg |
極限功率輸入 | 2.7 kW |
電機額定功率 | 3.5 kW |
油容量 | 0.7 l |
IH160技術(shù)參數(shù):
峰值速度 | 165 m3h-1 |
97 cfm | |
2750 l min-1 | |
極限真空 | 1 x 10-2 mbar |
7.5 x 10-3 Torr | |
1 Pa | |
典型軸封氮流量 | 4 slm |
進氣口連接 | ISO63 |
出口連接 | NW40 |
15 psi 壓降下典型冷卻水流量 | 120 l h-1 |
2 l min-1 | |
重量 | 244 kg |
極限功率輸入 | 3.1 kW |
電機額定功率 | 5.0 kW |
油容量 | 0.85 l |
愛德華螺桿真空泵IH80/160訂貨號:
iH80 干式泵 460V,60 Hz,3 相
A59000908
iH80 干式泵 200/208V,50/60 Hz,3 相
A59000945
iH80 干式泵 380/415V,50 Hz,3 相
A59000946
iH80 干式泵 230V,60 Hz,3 相
A59000957
iH160 干式泵 460V,60 Hz,3 相
A59010908
iH160 干式泵 200/208V,50/60 Hz,3 相
A59010945
iH160 干式泵 380/415V,50 Hz,3 相
A59010946
iH160 干式泵 230V,60 Hz,3 相
A59010957
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