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工具顯微鏡的干涉照明和應(yīng)用
閱讀：2286 發(fā)布時(shí)間：2020-5-27
在工具顯微鏡上采用干涉照明，可以提高測(cè)量圓柱體和螺紋的瞄準(zhǔn)精度。干涉條紋是如何產(chǎn)生的？都能完成哪些測(cè)量？
干涉照明
工具顯微鏡在一般照明條件下，由于圓柱面和螺旋面的輪廓影像不夠清晰，測(cè)量時(shí)，瞄準(zhǔn)精度低。
“干涉法”是對(duì)照明系統(tǒng)作適當(dāng)調(diào)節(jié)，使輪廓影像邊緣產(chǎn)生干涉條紋，以測(cè)角目鏡分劃板刻線瞄準(zhǔn)輪廓影像邊緣的干涉條紋，代替直接瞄準(zhǔn)影像輪廓的測(cè)量方法。由于干涉條紋很細(xì)，又很清晰，所以比直接瞄準(zhǔn)影像輪廓要準(zhǔn)確得多。
干涉條紋是由于底光照明直接進(jìn)入物鏡的光束和經(jīng)被測(cè)表面反射的光束在空間迭加，產(chǎn)生干涉現(xiàn)象而形成。條紋可有多條，通常以離被測(cè)件輪廓近的第1條作為瞄準(zhǔn)目標(biāo)。
使工具顯微鏡的照明產(chǎn)生干涉條紋的方法是：采用5×物鏡，把照明光欄口徑關(guān)到小，照明電壓開(kāi)到大，就能在輪廓影像邊緣看到干涉條紋；把黑紙當(dāng)中剪一個(gè)小孔放在底光照明聚光鏡表面，把光欄口徑和照明電壓都開(kāi)到大，效果也不錯(cuò)。
干涉照明的調(diào)焦方式也在輪廓影像的邊與普通照明不同,調(diào)焦過(guò)程中，可以看到干涉條紋離輪廓自遠(yuǎn)而近，找到距離近的拐點(diǎn)，作為焦面。
應(yīng)用
在工具顯微鏡上,干涉照明可用于螺紋螺距和牙側(cè)角的測(cè)量。測(cè)量時(shí)，用測(cè)角目鏡米字線與第1條干涉條紋重合，或?qū)⒚鬃志€夾在螺紋輪廓和第1條干涉條紋之間。
干涉照明不適合測(cè)量螺紋中徑，請(qǐng)使用三針在端度儀器上測(cè)量。
某些文獻(xiàn)給出了用干涉照明測(cè)量圓柱體直徑和螺紋中徑的方法，由于難于準(zhǔn)確獲得輪廓到干涉條紋的距離，應(yīng)慎用。建議使用端度儀器測(cè)量，會(huì)更加準(zhǔn)確。