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白光干涉薄膜厚度測(cè)試儀
  • 白光干涉薄膜厚度測(cè)試儀
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貨物所在地:上海上海市

更新時(shí)間:2025-04-19 21:00:07

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白光干涉薄膜厚度測(cè)試儀,TF200根據(jù)反射回來的干涉光,用反復(fù)校準(zhǔn)的算法快速反演計(jì)算出薄膜的厚度。測(cè)量范圍1nm-3mm,可同時(shí)完成多層膜厚的測(cè)試。對(duì)于100nm以上的薄膜,還可以測(cè)量n和k值。

儀器介紹  

TF200薄膜厚度測(cè)量系統(tǒng)利用薄膜干涉光學(xué)原理,對(duì)薄膜進(jìn)行厚度測(cè)量及分析。用從深紫外到近紅外可選配的寬光譜光源照射薄膜表面,探頭同位接收反射光線。TF200根據(jù)反射回來的干涉光,用反復(fù)校準(zhǔn)的算法快速反演計(jì)算出薄膜的厚度。測(cè)量范圍1nm-3mm,可同時(shí)完成多層膜厚的測(cè)試。對(duì)于100nm以上的薄膜,還可以測(cè)量n和k值。


產(chǎn)品特點(diǎn)

快速、準(zhǔn)確、無損、靈活、易用、性價(jià)比高

白光干涉薄膜厚度測(cè)試儀

應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體(SiO2/SiNx、光刻膠、MEMS,SOI等)

LCD/TFT/PDP(液晶盒厚、聚亞酰胺ITO等)

LED (SiO2、光刻膠ITO等)

觸摸屏(ITO AR Coating反射/穿透率測(cè)試等)

汽車(防霧層、Hard Coating DLC等)

醫(yī)學(xué)(聚對(duì)二甲苯涂層球囊/導(dǎo)尿管壁厚藥膜等)


技術(shù)參數(shù)

型號(hào)

TF200-VIS

TF200-EXR

TF200-DUV

TF200-XNIR

波長(zhǎng)范圍

380-1050nm

380-1700nm

190-1100nm

900-1700nm

厚度范圍

50nm-40um

50nm-300um

1nm-30um

10um-3mm

準(zhǔn)確度1

2nm

2nm

1nm

10nm

精度

0.2nm

0.2nm

0.2nm

3nm

入射角

90℃

90℃

90℃

90℃

樣品材料

透明或半透明

透明或半透明

透明或半透明

透明或半透明

測(cè)量模式

反射/透射

反射/透射

反射/透射

反射/透射

光斑尺寸2

2mm

2mm

2mm

2mm

是否能在線

掃描選擇

XY可選

XY可選

XY可選

XY可選

注:1.取決于材料0.4%或2nm之間取較大者。

      2.可選微光斑附件。



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