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光柵式傳感器的基本原理是利用光柵的莫爾條紋現(xiàn)象。
如下圖所示,光柵1類似于長刻線尺,稱為標尺光柵(也稱主光柵),它可以移動;光柵2只取一小塊,稱為指示光柵,它固定不動。也可相反地使指示光柵移動。兩者柵距和刻線寬度均相同,使刻線面相對疊合并在中間留有間隙d,便組成光柵副。
將其置于由光源和透鏡形成的平行光束的光路中,若二光柵柵線之間有很小的夾角θ,則在近似垂直于柵線的方向上顯示比柵距W寬得很多的明暗相間的條紋,這些條紋稱為“莫爾條紋”,其信號光強分布如圖中曲線所示,中間為亮帶,上下兩條為暗帶,當(dāng)標尺光柵沿垂直于柵線的x方向每移動一個柵距W時,莫爾條紋近似沿柵線方向移過一個條紋間距。用光電元件接收莫爾條紋信號并經(jīng)電路處理后,用計數(shù)器可得到標尺光柵移過的距離。
在實際使用中,一般把光源、指示光柵和光電元件組合在一起,稱為讀數(shù)頭。讀數(shù)頭的結(jié)構(gòu)形式很多,就其光路可分為以下幾種。
(1)分光讀數(shù)頭
它的工作原理如下圖所示,光源Q發(fā)出的光經(jīng)透鏡L1變成平行光,照射到光柵G1和G2上,形成莫爾條紋;透鏡L2把莫爾條紋聚焦;在光闌板S之后的焦面上,光電元件P接收莫爾條紋信號。這種光學(xué)系統(tǒng)是莫爾條紋光學(xué)系統(tǒng)的基本型。因為光柵間距比較小,兩塊光柵之間的間隙也小,所以不能在光柵表面粘玻璃保護層。
在實際使用中,如下圖所示,在光柵G與G之間裝上等倍投影透鏡L3和L4使G1的像以同樣大小的像投影在G2上形成莫爾條紋,于是拉長了G1和G2之間的距離。這種讀數(shù)頭主要用在高精度坐標控制系統(tǒng)和精密測量儀器上。
(2)垂直入射讀數(shù)頭
這種讀數(shù)頭主要是用于每毫米25~125線的玻璃透射光柵系統(tǒng)。下圖為垂直入射讀數(shù)頭的結(jié)構(gòu)示意圖,光源1通過透鏡2變成平行光照射在標尺光柵3和指示光柵4上,形成莫爾條紋,然后由光電池5接受信號。圖中8是滾動軸承,它保證了標尺光柵和指示光柵之間恒定的間隙。標尺光柵和讀數(shù)頭分別裝在固定部件和移動部件上,標尺光柵用壓板7夾緊,讀數(shù)頭用螺釘6固定。其精度可達0.001mm/1000mm。
(3)反射讀數(shù)頭
這種讀數(shù)頭主要用于每毫米25~50線以下的如下圖所示反射光柵系統(tǒng)。圖中β為入射角(一般為30°,反射光束通過指示光柵G2形成莫爾條紋,然后經(jīng)透鏡Lz并由光電元件P接收信號。
光柵只能用于增量測量方式,目前有的光柵讀數(shù)頭設(shè)有一個絕dui零點,這樣由于停電或其他原因造成記錯數(shù)字時,可以重新對零。它是在標尺光柵上有一小段光柵,在指示光柵上也有相應(yīng)的一小段光柵,當(dāng)這兩小段光柵重疊時發(fā)出零位信號,并在數(shù)字顯示器中顯示出來。
(來源:網(wǎng)絡(luò),版權(quán)歸原作者)