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氣體流量傳感器能同時(shí)顯示累積流量、瞬時(shí)流量、壓力和溫度，并具有通訊功能。氣體流量傳感器對(duì)流過(guò)傳感器的空氣、氧氣或其他的氣體有靈敏和快速的反應(yīng)，并且在在很小的流量下有較高的準(zhǔn)確性，同時(shí)具有在大的流量下很好的重復(fù)性和很低的滯后性。
氣體流量傳感器應(yīng)用廣泛，極da的影響著社會(huì)各行各業(yè)的發(fā)展。如工業(yè)生產(chǎn)、科學(xué)實(shí)驗(yàn)、保證產(chǎn)品質(zhì)量、提高生產(chǎn)效率、節(jié)約能源、促進(jìn)科技的發(fā)展等方面起著重要作用。
氣體流量傳感器的核心是一個(gè)加熱器和溫度敏感器，根據(jù)氣體流動(dòng)時(shí)所對(duì)應(yīng)的熱傳遞來(lái)探測(cè)氣流的速度和方向，并對(duì)流過(guò)芯片的空氣或其他氣體流量有著靈敏和快速的反應(yīng)。
氣體流量傳感器按工作原理可分為應(yīng)變式、壓電式、壓阻式、電感式、電容式、光電式、電阻、電容、電感、電壓、霍爾、光電、光柵、熱電偶等氣體流量傳感器。
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