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日照大規(guī)模集成電路制造潔凈廠房通風設計
近些年在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)用潔凈廠房的建造、設計中，基本上采用多層的布置方式，在潔凈生產(chǎn)層點燈格柵以上的上技術夾層嘗嘗作為送風靜壓箱，潔凈空氣通過FFU向潔凈生產(chǎn)層送風，實際上，潔凈生產(chǎn)層與上技術夾層，在下技術夾層還設置一下公用動力設備、輔助生產(chǎn)設備和公用動力管線等。
日照大規(guī)模集成電路制造潔凈廠房通風設計，在潔凈車間的平面設計中，每個進入控制區(qū)的人口均有風淋室或氣閘室，將生活區(qū)、一般生產(chǎn)區(qū)與控制區(qū)分隔開來。按衛(wèi)生部GMP規(guī)范規(guī)定和生產(chǎn)工藝要求的凈化級別，我們在潔凈車間空調(diào)機入口及出口處分別設置了初效、中效或亞*效二級過撼裝置，送風末端設置了亞高效或高效過濾器，靜壓箱和送風口根據(jù)工藝要求成組布置在頂棚上。
我們按潔凈級別為10000級，換氣次數(shù)取10-20 次／小時；1000級的換氣次數(shù)取20-30次／小時；100級的則按控制風速計算送風量。如果一味地用增加換氣次數(shù)，加大送風量來滿足凈化要求，勢必加大空調(diào)機組送風量，提高主機的容量，增加能耗，況且凈化效果也不盡如人意。潔凈車間為此可以考慮在個別潔凈度要求高的房間采用設置百級層流罩方案，加強局部的通風換氣，達到凈化要求。具體做法是：將送風機和高效過濾器組成的機組形成一個局部的小的層流送回風系統(tǒng)。如果在這個機組下面再加上垂直擋壁至工作臺面，形成一個局部層流罩，則效果就更佳了?？照{(diào)回風系統(tǒng)設計中，回風口布置恰當與否，也是一個關鍵的問題。