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RNKS-4寸PFA花籃半導(dǎo)體花籃晶圓花籃可定制提手
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更新時(shí)間:2025-04-07 21:00:08

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將裝有待腐蝕硅片的片架放入浸潤劑(FUJI FILM DRIWEL)中浸泡10—15S,上下晃動(dòng),浸潤劑(FUJI FILM DRIWEL)的作用是減小硅片的表面張力,使得腐蝕液更容易和二氧化硅層接觸,從而達(dá)到充分腐蝕;

2、將片架放入裝有二氧化硅腐蝕液(氟化銨溶液)的槽中浸泡,上下晃動(dòng)片架使得二氧化硅腐蝕更充分,腐蝕時(shí)間可以調(diào)整,直到二氧化硅腐蝕干凈為止

二氧化硅腐蝕液腐蝕會(huì)傷及鋁層,所以一般采用如下腐蝕液:冰乙酸:氟化銨=2:3。具體步驟為:

1、將裝有待腐蝕硅片的片架放入浸潤劑(FUJI FILM DRIWEL)中浸泡10—15S;

2、將片架放入裝有腐蝕液(冰乙酸:氟化銨=2:3)的槽中浸泡,并且上下晃動(dòng)片架;

3、將片架放入裝有甲醇溶液(甲醇:純水=1:1)的槽中浸泡;

4、在溢流槽中溢流沖水;

5、沖純水;



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