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了解納米壓痕測(cè)試儀的測(cè)量原理

閱讀:1402      發(fā)布時(shí)間:2023-7-29
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納米壓痕測(cè)試儀主要用于測(cè)量納米尺度的硬度與彈性模量,可以用于研究或測(cè)試薄膜等納米材料的接觸剛度、蠕變、彈性功、塑性功、斷裂韌性、應(yīng)力-應(yīng)變曲線、疲勞、存儲(chǔ)模量及損耗模量等特性??蛇m用于有機(jī)或無(wú)機(jī)、軟質(zhì)或硬質(zhì)材料的檢測(cè)分析,包括PVD、CVDPECVD薄膜,感光薄膜,彩繪釉漆,光學(xué)薄膜,微電子鍍膜,保護(hù)性薄膜,裝飾性薄膜等。

納米壓痕測(cè)試儀的測(cè)量原理:納米壓入測(cè)試通過(guò)計(jì)算機(jī)控制載荷連續(xù)變化,并在線監(jiān)測(cè)壓入深度。一個(gè)完整的壓痕過(guò)程包括兩個(gè)步驟,即所謂的加載過(guò)程與卸載過(guò)程。在加載過(guò)程中,給壓頭施加外載荷,使之壓入樣品表面,隨著載荷的增大,壓頭壓入樣品的深度也隨之增加,當(dāng)載荷達(dá)到*大值時(shí),移除外載,樣品表面會(huì)存在殘留的壓痕痕跡。

該設(shè)備測(cè)試的特點(diǎn):

1)試樣制備簡(jiǎn)單。測(cè)試一般對(duì)試樣表面粗糙度有特殊要求,對(duì)被測(cè)試樣的形狀尺寸并無(wú)特殊要求,壓入深度在微納米尺度,是一種*損測(cè)試方法。

2)測(cè)量分辨力高。

3)操作方便。利用載荷-深度曲線,可直接換算得到接觸面積,無(wú)需對(duì)殘余壓痕面積進(jìn)行測(cè)定。

4)測(cè)試內(nèi)容豐富。

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