化工儀器網(wǎng)
技術(shù)文章
日本seisen半導(dǎo)體氣體過(guò)濾器產(chǎn)品分析
閱讀：1418 發(fā)布時(shí)間：2023-2-7日本seisen半導(dǎo)體氣體過(guò)濾器產(chǎn)品分析
NASclean®是將微米級(jí)不銹鋼短纖維（SUS316L）燒結(jié)而成的薄層金屬膜過(guò)濾器。我們通過(guò)從過(guò)濾介質(zhì)（不銹鋼短纖維）到最終產(chǎn)品的一體化生產(chǎn)，為半導(dǎo)體、平板顯示器、太陽(yáng)能電池板等生產(chǎn)過(guò)程中使用的氣體過(guò)濾做出貢獻(xiàn)。
用于工藝氣體
使用不銹鋼短纖維的金屬膜過(guò)濾器。
壓力損失小，顆粒去除性能高。
適用于100SLM以下的流量，可用于各種工藝氣體。
用于工藝氣體管線的小流量過(guò)濾器 (186KB)
用于散裝氣體
過(guò)濾介質(zhì)的褶皺形狀即使在高流量下也能實(shí)現(xiàn)低壓損失。
高溫烘烤是可能的，因?yàn)樗侨饘俚摹?/span>
支持高達(dá)3000Nm 3 /hr的大流量。
用于散裝氣體管線的大流量過(guò)濾器 (178KB)
用于設(shè)備保護(hù)
MFC、閥門、調(diào)節(jié)器等設(shè)備保護(hù)過(guò)濾器
可根據(jù)使用條件選擇低壓型或高壓型。
可安裝在現(xiàn)有管道上。
管式高壓超精密過(guò)濾器 (199KB)
低壓用圓盤式超精密過(guò)濾器 (182KB)
用于 IGS 面板
與集成氣體面板過(guò)濾器、1.125W-Seal、1.125C-Seal、1.5W-Seal 兼容。
通過(guò)采用褶皺介質(zhì)實(shí)現(xiàn)小型化。
采用機(jī)械密封，介質(zhì)部分為無(wú)焊縫結(jié)構(gòu)。
用于集成氣體面板的 IGS 過(guò)濾器 (202KB)
用于擴(kuò)散器
使用褶皺介質(zhì)可實(shí)現(xiàn)高速排氣。
通過(guò)防止顆粒卷起有助于提高產(chǎn)品產(chǎn)量。
可根據(jù)安裝空間進(jìn)行設(shè)計(jì)。
用于常壓恢復(fù)的高速排氣過(guò)濾器 (189KB)