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詳細(xì)介紹
日本pureron內(nèi)置式陶瓷氣體過濾器PGF系列
- 高過濾精度
在超微LSI制造工藝中，要求必須將原料氣體以高純度的狀態(tài)輸送到使用點(diǎn)。因此原料氣體的高純度化自不必言說，管道系統(tǒng)的超凈化亦是一大重點(diǎn)。Pureron Japan 為順應(yīng)這一時(shí)代的需求，研制出了在元件中使用了陶瓷的全新過濾器，從而實(shí)現(xiàn)了具有長久穩(wěn)定狀態(tài)的0.003μm的高過濾精度。 - 蝕刻和薄膜形成時(shí)必*高選擇性
在追求高選擇性的過程中，極其重要的一點(diǎn)是去除水、氧氣等不純物的問題。為了切實(shí)地做到去除不純物，首先必*，是在高溫狀態(tài)下進(jìn)行烘烤。從該觀點(diǎn)出發(fā)研制出的陶瓷過濾器可進(jìn)行200℃的高溫烘烤。 - 零維護(hù)實(shí)現(xiàn)成本削減
能夠根據(jù)粒子粒徑大小分階段進(jìn)行過濾的三層結(jié)構(gòu)，因此幾乎不會(huì)有堵塞的問題。并且與以往的過濾器相比，具有高耐久性、高耐熱性特征的陶瓷過濾器不會(huì)在使用過程中出現(xiàn)故障。所以不會(huì)因生產(chǎn)線暫時(shí)中斷而帶來經(jīng)濟(jì)損失，并可長期持續(xù)地削減成本。
日本pureron內(nèi)置式陶瓷氣體過濾器PGF系列
規(guī)格
| 過濾精度 | 0.003μm（但是，純水過濾時(shí)は0.1μm） | |
|---|---|---|
| 推薦流量 | 10～200?/min（各型號(hào)區(qū)別：參考流量特性曲線) | |
| 設(shè)計(jì)壓力 | 17MPa (2,465PSIG) at20℃ | 本產(chǎn)品全部經(jīng)過14.7MPa的耐壓測試后出貨。但是，依據(jù)日本國內(nèi)的高壓氣體保安法，最高使用壓力的顯示和使用是不超過1MPa。關(guān)于1MPa以上的高壓煤氣認(rèn)定品，請(qǐng)?jiān)儐栁覀儭?/td> |
| 常用壓力 | 1MPa(145PSIG)未滿 | |
| 最大容許差壓 | 9.6MPa (1,392PSIG) at20℃ | |
| 最高連續(xù)使用溫度 | 120℃ | |
| 烘烤溫度 | 200℃ | |
| 外部泄漏量 | 2×10-11Pa?m3/sec以下 | |
| 構(gòu)成材料 | 外罩：SUS316L 內(nèi)表面粗糙度：Rmax0.7μm以下 元素：氧化鋁陶瓷(Al2O3) 密封圈：PTFE | |
| 連接零件 | 1/4"、3/8"、1/2"、3/4" Gasket seal、 Compression seal、UPG®、其它 | |
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