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四探針電阻測試儀的測試原理
四探針電阻測試儀的測試原理基于?電流-電壓分離測量法?，通過消除接觸電阻和引線電阻的影響實現(xiàn)高精度測量。其核心工作原理如下：
一、四探針電阻測試儀基本測量原理
?探針布置與功能分工?
四個探針以直線或矩形排列接觸被測樣品表面，外側(cè)兩探針（1、4號）連接恒流源施加穩(wěn)定電流，內(nèi)側(cè)兩探針（2、3號）連接高精度電壓表測量電勢差。
?電流探針?：驅(qū)動電流注入樣品形成電場分布。
?電壓探針?：檢測非電流路徑位置的電壓差，避免接觸電阻干擾。
二、四探針電阻測試儀關(guān)鍵設(shè)計特性
?開爾文四線法優(yōu)化?
通過獨立電流回路和電壓測量回路，消除引線電阻和接觸電阻的影響，確保測量僅反映樣品本身特性。
?探針配置適應性?
?直線排列?：適用于大尺寸塊狀或板狀樣品，探針間距可調(diào)。
?矩形/正方形排列?：適合細長條狀或棒狀樣品，減少邊緣效應干擾。
?儀器硬件特性?
探針采用碳化鎢材質(zhì)，配合寶石導套和彈簧壓力裝置，確保接觸穩(wěn)定性和耐久性。
數(shù)字電壓表分辨率達0.1μV，支持自動量程切換和極性調(diào)節(jié)。
三、四探針電阻測試儀適用場景與優(yōu)勢
?主要應用?
廣泛應用于半導體晶圓、金屬薄膜、陶瓷等材料的電阻率和方阻測量，尤其適合微區(qū)或局部電學特性分析。
?技術(shù)優(yōu)勢?
?非破壞性?：表面接觸測量，不干擾材料內(nèi)部結(jié)構(gòu)。
?高精度?：修正系數(shù)（如η/F）可適配不同幾何形狀樣品，減小邊緣效應誤差。
?環(huán)境穩(wěn)定性?：測量結(jié)果受溫濕度等外部條件影響小。
四、四探針電阻測試儀典型儀器結(jié)構(gòu)示例（以BEST-300C型為例）
?電氣模塊?：集成恒流源、高精度電壓檢測及數(shù)字處理單元，支持電阻率/方阻自動切換顯示。
?機械結(jié)構(gòu)?：配備高度粗調(diào)/細調(diào)裝置和壓力自鎖機構(gòu)，確保探針接觸壓力均勻可控
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