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一、四探針電阻測試儀操作前準(zhǔn)備

?樣品處理?確保被測材料表面平整、無氧化層或污染物（如油污、灰塵），必要時用酒精或超聲波清洗。

塊狀或薄膜樣品需測量準(zhǔn)確厚度，棒狀樣品需記錄橫截面積。

?設(shè)備檢查?

連接測試探頭電纜與主機，檢查探針是否完好（碳化鎢探針無斷裂、氧化）。

確認(rèn)恒流源、電壓表和接地線正常工作，避免短路或接觸不良。

二、四探針電阻測試儀儀器操作流程

?開機與預(yù)熱?

接通電源，開啟主機開關(guān)，預(yù)熱15分鐘至電路穩(wěn)定。

選擇測試模式（如電阻率、方阻或薄層電阻）。

?探針安裝與接觸?

?直線或矩形排列?：根據(jù)樣品形狀調(diào)整探針間距（常規(guī)間距1-2mm），確保四探針均勻接觸樣品表面。

?壓力控制?：通過彈簧裝置或高度調(diào)節(jié)旋鈕施加適中壓力（避免劃傷樣品或接觸不良）。

?參數(shù)設(shè)置?

?電流選擇?：根據(jù)材料導(dǎo)電性設(shè)置恒流源（如半導(dǎo)體用0.5-1mA，金屬用1-2mA）。

?修正系數(shù)輸入?：輸入幾何修正系數(shù)或選擇預(yù)設(shè)模型（薄片/三維樣品）。

?測試執(zhí)行?

啟動恒流源，注入電流并測量內(nèi)側(cè)兩探針的電壓差。

觀察數(shù)據(jù)穩(wěn)定性，重復(fù)測量3次取平均值以減少誤差。

?數(shù)據(jù)處理?

儀器自動計算電阻率并直接顯示結(jié)果。復(fù)雜形狀樣品需結(jié)合有限元模擬修正系數(shù)或查表校準(zhǔn)。

三、四探針電阻測試儀校準(zhǔn)與維護(hù)

?校準(zhǔn)步驟?

使用標(biāo)準(zhǔn)電阻片驗證儀器精度，調(diào)整參數(shù)直至誤差<1%。定期檢查探針磨損情況，更換斷針時確保銅片與絕緣片按原順序排列。

?設(shè)備維護(hù)?

測試后關(guān)閉電源，斷開探頭電纜并存放在干燥環(huán)境中。清潔探針表面殘留物，避免氧化影響導(dǎo)電性。

四、四探針電阻測試儀注意事項

?接觸問題?

探針與樣品需垂直接觸，避免傾斜導(dǎo)致接觸面積不均。高阻材料測量時需延長穩(wěn)定時間，減少環(huán)境靜電干擾。

?電流選擇?

免電流過大導(dǎo)致樣品發(fā)熱（影響電阻率真實性）或過小導(dǎo)致信噪比不足。

?環(huán)境控制?

實驗室溫度建議控制在25±2°C，濕度<60%以保障數(shù)據(jù)一致性。

通過規(guī)范操作流程與定期校準(zhǔn)，四探針電阻測試儀可精準(zhǔn)獲取材料電學(xué)特性參數(shù)。

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