您好, 歡迎來到化工儀器網(wǎng)
產(chǎn)品簡介
詳細介紹
| 實驗機里 | 輝光放電等離子體中∶ 電子密度高109-1012cm3電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10.100倍 |
| 產(chǎn)品特點 | 雖環(huán)境溫度在100-300℃，但反應氣體在輝光放電等離子體中能受激分解，離解和離化，從而大大提高了反應物的活性。因此，這些具有反應活性的中性物質(zhì)很容易被吸附到較次溫度的基本表面上，發(fā)生非平衡的化學反應沉積生成薄膜。 科晶公司提供定制的薄膜材料的實驗室質(zhì)量可靠、價格合理的緊湊型PECVD系統(tǒng)。 |
| 開啟式管式爐 | 工作溫度高達1200℃ 工作溫度∶1200℃ 爐管尺寸∶ ④50，φ60，φ80都可用 溫度控制器∶30段高精度數(shù)字可編程溫度控制器加熱區(qū)長度∶ 440mm 恒溫區(qū)長度∶150mm注;由于測量手段及外部環(huán)境的影響，測量結(jié)果可能會有偏差，此參數(shù)僅供參考不作為該設備的技術(shù)指標。您購買產(chǎn)品需要準確的恒溫區(qū)數(shù)據(jù)，請與我公司銷售人員功率∶AC 220V 4KW |
| 等離子射頻電源 |
可控范圍=1% RF頻率∶13.56MHz，穩(wěn)定性±0.005%噪聲∶≤55DB 冷卻∶ 風冷 |
| 真空泵和閥門 | 采用KF25系列波紋管和精密針閥連接真空度可達10-3torr 本公司進口的防腐型數(shù)字式真空顯示計，其測量范圍為38x10至 1125Tor.不需因測量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。 |
| 質(zhì)量流量計 | 內(nèi)部裝有高精度數(shù)字顯示質(zhì)量流量計可準確的控制氣體流量氣體流量范圍為0-200 誤差為0.02%。一個氣體混氣罐的底部安裝了液體釋放閥不銹鋼針閥安裝在左側(cè)可手動控制混合氣體輸入進氣口∶采用標準雙卡套接頭 |
| 細節(jié)圖展示 | |
| 外形尺寸 | 爐體∶ 550*380*520mm 供氣及真空系統(tǒng)∶ 600*600*597mm 凈重∶ 120KG |
| 開門斷電 | 為保證 使用安全，該電爐為開門斷電設計 |
| 質(zhì)保期 | 一年質(zhì)保期相關(guān)耗材除外，如加熱元件，密封圈等易耗件 |
| 質(zhì)量認證 | CE認證 所有電器元件（>24V）都通過UL /MET/CSA認證 若客戶出認證費用，本公司保證單臺設備通過德國TUV認證或CAS認證 |
| 國家 | 名稱∶可組合式等離子增強化學氣相沉積裝置編-2011-2-035577.1尊重創(chuàng)新、鄙視抄襲、侵權(quán)必究 |
| 使用注意事項 | 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa，使用時會更加安全 當爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態(tài) 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊石英管的長時間使用溫度 <100°℃ 對于樣品加熱的實驗，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于002MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等） |