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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
產(chǎn)品概述∶?TCVD-OTF-1200X-S2-5OSL是一款小型的雙爐體滑動(dòng)管式爐，爐管為中50×1600mm的石英管，并配有不銹鋼密封法蘭，儀器*溫度可以達(dá)到1200℃。兩個(gè)爐體可在雙向?qū)е壣匣瑒?dòng)，實(shí)現(xiàn)對(duì)原材料的蒸發(fā)/升華，及薄膜沉積。通過爐體的滑動(dòng)可實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品快速升降溫的需求。同時(shí)可選配電動(dòng)滑軌、質(zhì)量流量計(jì)（MFC）控制的供氣系統(tǒng)和等離子射頻電源來搭建TCVD系統(tǒng)。
詳細(xì)介紹
| 產(chǎn)品名稱 | 1200°C小型雙爐體滑動(dòng)管式爐 |
| 主要特點(diǎn) | 包含兩個(gè)爐體。 爐子的底部安裝有一對(duì)滑軌，可手動(dòng)使?fàn)t子從爐管的一側(cè)滑動(dòng)到另一側(cè)，以實(shí)現(xiàn)快速加熱和快速冷卻。 *溫度可達(dá)1200℃。 · 雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)，可有效降低殼體表面溫度。 內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時(shí)也可以延長(zhǎng)儀器的使用壽命。 開門斷電，提高實(shí)驗(yàn)安全性。 |
| 基本參數(shù) | *溫度∶ 1200℃（≤30nin） 工作溫度∶ 1000℃ 推薦升溫速率∶≤10℃/min 加熱元件∶摻鉬鐵鉻鋁合金 電壓∶220v 額定功率∶ 3KW |
| 爐管及滑軌 | 高純石英管50mm外徑x 1500mm長(zhǎng) 鍍鉻鋼制成的雙滑軌 滑軌長(zhǎng)度∶1600毫米 |
| 真空法蘭 | 配有一套304不銹鋼密封法蘭，采用硅膠密封圈密封。 不銹鋼真空法蘭安裝在爐管的兩端，便于組裝。 左端法蘭采用1/4英寸的卡套接頭，用于通入反應(yīng)氣體。 一個(gè)機(jī)械壓力表安裝在左端法蘭上，用于監(jiān)控管道壓力。 法蘭端提供多種接頭可選。
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| 溫控系統(tǒng) | 采用PID方式調(diào)節(jié)溫度，可設(shè)置30段升降溫程序 溫控儀表中帶有過熱和斷偶保護(hù) 儀表控溫精度∶ +/- 1°c 熱電偶型號(hào)∶k型 |
| 認(rèn)證 | 所有電氣部件均為UL認(rèn)證，并可通過TV、CsA認(rèn)證 CE certified |
| 質(zhì)保 | 一年保修，終身技術(shù)支持。 特別提示∶ 1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 |
