美國Entegris氣體過濾器WGMXMSRR2

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隨著各項技術(shù)水平的發(fā)展，通過采用新型的傳感器和計算機(jī)技術(shù)研制出機(jī)械、電子、傳感器及計算機(jī)自我管理（故障診斷、故障排除）為一體的智能化新型伺服閥。該類伺服閥可按照系統(tǒng)的需要來確定控制目標(biāo)：速度、位置、加速度、力或壓力。并且伺服閥的控制參數(shù)，如流量增益、流量增益特性、零點等都可以根據(jù)控制性能*化原則進(jìn)行設(shè)置。在主機(jī)調(diào)試期間，可以通過總線端口下載或直接由上位機(jī)設(shè)置伺服閥的控制參數(shù)，使伺服閥與控制系統(tǒng)達(dá)到*匹配，優(yōu)化控制性能。而伺服閥控制參數(shù)的下載和更新，甚至在主機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)時也能進(jìn)行。而在伺服閥與控制系統(tǒng)相匹配的技術(shù)應(yīng)用發(fā)展中，嵌入式技術(shù)對于伺服閥已經(jīng)成為現(xiàn)實。按照嵌入式系統(tǒng)應(yīng)定義為：“嵌入到對像體系中的計算機(jī)系統(tǒng)"?！扒度胄?、“性"與“計算機(jī)系統(tǒng)"是嵌入式系統(tǒng)的三個基本要素。它是在傳統(tǒng)的伺服閥中嵌入的微處理芯片和相應(yīng)的控制系統(tǒng)，針對客戶的具體應(yīng)用要求而構(gòu)建成具有*控制參數(shù)的伺服閥并由閥自身的控制系統(tǒng)完成相應(yīng)的控制任務(wù)（如各控制軸同步控制），再嵌入到整個的大液壓控制系統(tǒng)中去。從目前的技術(shù)發(fā)展和液壓控制系統(tǒng)對伺服閥的要求看，伺服閥的自診斷和自檢測功能應(yīng)該有更大的發(fā)展。

隨著各項技術(shù)水平的發(fā)展，通過采用新型的傳感器和計算機(jī)技術(shù)研制出機(jī)械、電子、傳感器及計算機(jī)自我管理（故障診斷、故障排除）為一體的智能化新型伺服閥。該類伺服閥可按照系統(tǒng)的需要來確定控制目標(biāo)：速度、位置、加速度、力或壓力。并且伺服閥的控制參數(shù)，如流量增益、流量增益特性、零點等都可以根據(jù)控制性能*化原則進(jìn)行設(shè)置。在主機(jī)調(diào)試期間，可以通過總線端口下載或直接由上位機(jī)設(shè)置伺服閥的控制參數(shù)，使伺服閥與控制系統(tǒng)達(dá)到*匹配，優(yōu)化控制性能。而伺服閥控制參數(shù)的下載和更新，甚至在主機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)時也能進(jìn)行。而在伺服閥與控制系統(tǒng)相匹配的技術(shù)應(yīng)用發(fā)展中，嵌入式技術(shù)對于伺服閥已經(jīng)成為現(xiàn)實。按照嵌入式系統(tǒng)應(yīng)定義為：“嵌入到對像體系中的計算機(jī)系統(tǒng)"。“嵌入性"、“性"與“計算機(jī)系統(tǒng)"是嵌入式系統(tǒng)的三個基本要素。它是在傳統(tǒng)的伺服閥中嵌入的微處理芯片和相應(yīng)的控制系統(tǒng)，針對客戶的具體應(yīng)用要求而構(gòu)建成具有*控制參數(shù)的伺服閥并由閥自身的控制系統(tǒng)完成相應(yīng)的控制任務(wù)（如各控制軸同步控制），再嵌入到整個的大液壓控制系統(tǒng)中去。從目前的技術(shù)發(fā)展和液壓控制系統(tǒng)對伺服閥的要求看，伺服閥的自診斷和自檢測功能應(yīng)該有更大的發(fā)展。

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