勻膠機(jī)主要應(yīng)用于微機(jī)電系統(tǒng)的微加工、生物、材料、半導(dǎo)體、制版、新能源、薄膜、光學(xué)及表面涂覆等領(lǐng)域或樣件較小無(wú)法使用提拉涂膜或刮膜的方式進(jìn)行涂膜的基片的涂膜。通常固定樣品的方式有兩種：真空吸盤(pán)固定樣品、帶卡槽的樣品盤(pán)固定樣品。用真空吸盤(pán)固定樣品時(shí)需要有抽真空的裝置，真空吸附適用于固定表面光滑，平整度好，受真空吸力不變形的基片；帶卡槽的樣品盤(pán)可用于質(zhì)軟、形狀不規(guī)則的、尺寸較大的基片的固定。
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