簡(jiǎn)介
納米壓痕儀種多樣，常見(jiàn)的有原位納米壓痕儀,SEM納米壓痕儀,國(guó)產(chǎn)納米壓痕儀等。
主要用于微納米尺度薄膜材料的硬度與楊氏模量測(cè)試，測(cè)試結(jié)果通過(guò)力與壓入深度的曲線計(jì)算得出，無(wú)需通過(guò)顯微鏡觀察壓痕面積 。
圖片：
儀器介紹
納米壓痕儀主要用于測(cè)量納米尺度的硬度與彈性模量，可以用于研究或測(cè)試薄膜等納米材料的接觸剛度、蠕變、彈性功、塑性功、斷裂韌性、應(yīng)力-應(yīng)變曲線、疲勞、存儲(chǔ)模量及損耗模量等特性?？蛇m用于有機(jī)或無(wú)機(jī)、軟質(zhì)或硬質(zhì)材料的檢測(cè)分析，包括PVD、CVD、PECVD薄膜，感光薄膜，彩繪釉漆，光學(xué)薄膜，微電子鍍膜，保護(hù)性薄膜，裝飾性薄膜等等。基體可以為軟質(zhì)或硬質(zhì)材料，包括金屬、合金、半導(dǎo)體、玻璃、礦物和有機(jī)材料等 。
主要應(yīng)用
半導(dǎo)體技術(shù)(鈍化層、鍍金屬、Bond Pads)；存儲(chǔ)材料(磁盤(pán)的保護(hù)層、磁盤(pán)基底上的磁性涂層、CD的保護(hù)層)；光學(xué)組件(接觸鏡頭、光纖、光學(xué)刮擦保護(hù)層)；金屬蒸鍍層；防磨損涂層(TiN, TiC, DLC, 切割工具)；藥理學(xué)(藥片、植入材料、生物組織)；工程學(xué)(油漆涂料、橡膠、觸摸屏、MEMS)等行業(yè)。
技術(shù)特點(diǎn)
1、*符合ISO14577、ASTME2546；
2、光學(xué)顯微鏡自動(dòng)觀察；
3、熱漂移控制技術(shù)；
4、可硬度、剛度、彈性模量、斷裂剛度、失效點(diǎn)、應(yīng)力-應(yīng)變、蠕變性能等力學(xué)數(shù)據(jù)；
5、適時(shí)測(cè)量載荷大?。?br />
6、采用獨(dú)立的載荷加載系統(tǒng)與高分辨率的電容深度傳感器；
7、快速的壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的載荷反饋系統(tǒng)；
8、雙標(biāo)準(zhǔn)校正：熔融石英與藍(lán)寶石 。
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