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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
TGkine-R系列磁懸浮復(fù)合分子泵具備了磁懸浮復(fù)合分子泵(控制器?電源一體型)TGkine-B系列優(yōu)秀的產(chǎn)品性能，本系列更搭載了將工作數(shù)據(jù)、軸承使用次數(shù)等記憶在泵本體中的存儲(chǔ)功能，即使在維修期間更換控制器，也能夠傳輸數(shù)據(jù)。
詳細(xì)介紹
OSAKA磁懸浮分子泵TGkine-R系列產(chǎn)品型號(hào)：
TGkine2200M-R、TGkine3300M-R / TGkine3400M-R、TGkine3800M-R / TGkine4200M-R
產(chǎn)品特點(diǎn)：
■ 省電設(shè)計(jì)
■ 在真空泵本體中，可存儲(chǔ)設(shè)置參數(shù)，運(yùn)轉(zhuǎn)數(shù)據(jù)及異常歷史等。
※即使在維護(hù)階段更換控制器，也可實(shí)現(xiàn)全數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)移。
■ 支持多種通信接口規(guī)格 （兼容EtherCAT通信協(xié)定）
■ 適用于國(guó)際規(guī)格 CE/NRTL/SEMI-S2
使用場(chǎng)合：
■ 半導(dǎo)體制造設(shè)備
■ FPD制造設(shè)備
■ 太陽(yáng)能電池制造設(shè)備
■ 玻璃/鏡片等光學(xué)部件加工
■ 鍍膜工藝
■ 加速器/宇宙環(huán)境模擬器
技術(shù)參數(shù)：
型號(hào)※1 | TGkine3300M-R | TGkine3400M-R | |
吸氣口法蘭 | VG300 / ISO-B320 | VG350 | |
排氣口法蘭※2 | KF40 / KF50 | ||
排気速度 | N2 (L/s) | 3300 | |
N(付帶金屬保護(hù)網(wǎng)) (L/s) | 3100 | ||
H2 (L/s) | 2700 | ||
最大壓縮比 | N2 | >1×108 | |
H2 | 3×103 | ||
最大氣體流量※3、※4 | N2 (sccm) | 2600 | |
Ar (sccm) | 1900 | ||
起動(dòng)時(shí)間 | (min) | ≦11 | |
停止時(shí)間 | (min) | ≦13 | |
到達(dá)壓力※5 | (Pa） | <2×10-7 | |
(Torr） | <1.5×10-9 | ||
最大排氣口壓力※6 | (Pa) | 110 | |
(Torr） | 0.82 | ||
推薦前級(jí)泵 | (L/min) | ≧2000 | |
安裝方向 | 任意 | ||
質(zhì)量 | (kg) | 64 / 65 | 67 |