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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
DN 系列探針臺(tái)，是一款適用于 4-12 英寸晶圓的精密探針臺(tái)。 該系列探針臺(tái)采用高剛性顯微鏡龍門(mén)設(shè)計(jì)，結(jié)構(gòu)穩(wěn)定 ，顯微鏡平移臺(tái)可進(jìn)行 X-Y-Z 方向精密位移調(diào)節(jié)，顯微鏡放大倍率高，操作方便 ， 同時(shí)支持多種功能的升級(jí)，非常適合晶圓級(jí)的測(cè)試應(yīng)用。該產(chǎn)品主要應(yīng)用于集成電路、 芯片、MEMS 器件、 管芯晶圓、 LED、 LCD、 太陽(yáng)能電池等行業(yè)的測(cè)試及研究領(lǐng)域。
詳細(xì)介紹
DN 系列探針臺(tái)，是一款適用于 4-12 英寸晶圓的精密探針臺(tái)。 該系列探針臺(tái)采用高剛性顯微鏡龍門(mén)設(shè)計(jì)，結(jié)構(gòu)穩(wěn)定 ，顯微鏡平移臺(tái)可進(jìn)行 X-Y-Z 方向精密位移調(diào)節(jié)，顯微鏡放大倍率高，操作方便 ， 同時(shí)支持多種功能的升級(jí)，非常適合晶圓級(jí)的測(cè)試應(yīng)用。該產(chǎn)品主要應(yīng)用于集成電路、 芯片、MEMS 器件、 管芯晶圓、 LED、 LCD、 太陽(yáng)能電池等行業(yè)的測(cè)試及研究領(lǐng)域。
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)：
顯微鏡具備高剛性龍門(mén)支架且搭配氣動(dòng)升降，保證高質(zhì)量光學(xué)成像質(zhì)量。
卡盤(pán)同時(shí)具備快速和微調(diào)升降，便于樣品和探針快速分離，也可以用于探針卡的扎針。
可升級(jí)性強(qiáng)，可升級(jí) 220G 高頻，也可以集成光電流掃描成像或拉曼-瞬態(tài)熒光壽命成像系統(tǒng)等。
