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中級(jí)會(huì)員 | 第4年

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激光干涉儀API進(jìn)口美國(guó)測(cè)量?jī)x

時(shí)間:2025/5/21閱讀:82
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激光干涉儀API

以 API XD Laser 6D 激光干涉儀為例,從穩(wěn)頻激光器發(fā)出的激光光束經(jīng)過干涉后,被 6D 傳感器內(nèi)的分光鏡分成三束。一束光經(jīng)錐角反射棱鏡反射后返回干涉儀與參考光束相干涉產(chǎn)生干涉條紋,經(jīng)光學(xué)相位探測(cè)器識(shí)別后進(jìn)行電子計(jì)數(shù),可記錄精確長(zhǎng)度位置;第二束光作直線度測(cè)量的參考光束,傳感器與參考光束之間的相對(duì)位移由裝載傳感器內(nèi)的橫向光電二極管測(cè)得;第三束光用作裝在 6D 傳感器內(nèi)的小型光電測(cè)角儀的參考光源,用來測(cè)量角度誤差(俯仰角和偏擺角)。

要用于機(jī)床檢測(cè)、校準(zhǔn)等領(lǐng)域,可對(duì)機(jī)床的定位精度、直線度、垂直度、平行度、平面度等參數(shù)進(jìn)行高精度測(cè)量和評(píng)估,

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