MKS 射頻電源 Elite 750 RF Generator 是一款經(jīng)過長期實際驗證的優(yōu)秀且可靠的射頻電源，Elite 750FP-01 RF Generator 采用風(fēng)冷全機架外殼，具有Profibus和RS232接口。MKS Elite RF Generator在緊湊的風(fēng)冷封裝中提供了優(yōu)良可靠的技術(shù)，每個Elite射頻電源設(shè)計由高速閉環(huán)控制，E類射頻功率放大器和開關(guān)調(diào)制器的優(yōu)秀輸出性能。它的設(shè)計采用了單一PCB電路板組裝的全機架產(chǎn)品，幾乎避免了所有的內(nèi)部電線和連接器，從而提供了高可靠性。Elite 射頻電源可用于連續(xù)操作的源或偏置發(fā)生器或作為獨立的工作設(shè)備，非常適合于光伏產(chǎn)業(yè)、LED、微機電系統(tǒng)和半導(dǎo)體應(yīng)用。

MKS 射頻電源 Elite 750 RF Generator 參數(shù)規(guī)格

設(shè)備品牌：MKS

設(shè)備型號：ELITE 750FP-01

AC Input：110~253VAC，1 phase~，50/60Hz

RF Output：750W（±2%），13.56Mhz（±0.005%）

輸出穩(wěn)定性：-20 dBc

諧波輸出：-30dBc

通訊接口：Profibus，RS-232C，Analog interface

散熱：風(fēng)冷散熱

工作環(huán)境溫度：5℃~40℃

設(shè)備尺寸：2U，F(xiàn)ull rack：17 * 15 * 3.5 inches

設(shè)備重量：9.2kg