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當前位置：江蘇神州半導體科技有限公司>>射頻電源（RF）>> MKS LVG3527AMKS 射頻電源 LVG3527A 27MHz 3500W
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| 供貨周期 | 現貨 | 貨號 | LVG3527A-11BA-05 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 化工,電子/電池,電氣,綜合 | 主要用途 | RF GENERATOR |
| 品牌 | MKS | 型號 | LVG3527A |
| M/N | LVG3527A-11BA-05 | P/N | 660-072825-625 |
| 頻率 | 27MHz | 輸出功率 | 3500W |
| 設備狀態(tài) | Refurbished |
MKS 射頻電源 LVG3527A 27MHz 3500W RF Generator 是經過長期驗證的具有高可靠性的射頻發(fā)生器，是面向核心等離子體應用的業(yè)界前沿的可重復電源。MKS 射頻電源整體采用緊湊型的外觀設計，能夠有效的降低客戶的使用成本。設備主要運用于等離子蝕刻，CVD和濺射等應用，堅固耐用，為等離子工藝提供了優(yōu)秀的可靠性。MKS LVG系列射頻電源能夠能實現對射頻的精準控制，具有優(yōu)秀的成膜能力，在半導體薄膜工藝中具有廣泛應用。
MKS 射頻電源 LVG3527A 27MHz 3500W 參數規(guī)格
設備品牌：MKS
設備型號：LVG3527A
AC 電源輸入：200~208V，3 phase~ /PE，50/60Hz，30AMP
RF 射頻輸出：27.12MHz，3500W
通信接口：Analog I/O，RS-232C，EtherNet，Reserved
設備散熱：水冷散熱
水冷進水需求：2gal/min（7.5L/min），水溫5℃~35℃，MAX水壓 60PSI/414kPa
設備重量：32kg（70lbs）
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