ADTEC 射頻電源 TR-3000-EI2-MT 13.56MHz 3000W RF Generator 是經(jīng)過長期驗證的性能優(yōu)良、可靠性高的射頻發(fā)生器。電源整體采用了小巧緊湊的外形設計，減少了在機臺中的空間占用，大大降低了使用成本。ADTEC TR Series 射頻電源在半導體的濺射、CVD、蝕刻等制程中，有著十分廣泛的應用。高性能的TR系列射頻電源在半導體薄膜工藝的應用中射頻輸出控制精準，穩(wěn)定可靠，有較快的成膜速度，可以有效的提高產(chǎn)線的效率，同時降低能源損耗，提高能源效益。

ADTEC 射頻電源 TR-3000-EI2-MT 13.56MHz 參數(shù)規(guī)格

設備品牌：ADTEC

設備型號：TR-3000-EI2-MT         

AC電源輸入：3 phase~ ，AC200~240V，50/60Hz，5.3kVA

RF射頻輸出：3000W，13.56MHz

通訊接口：Remote Control，RS-485，EXT-In/Out

設備散熱：水冷散熱

水冷流速：4.0L/min（1.05gal/min）

水冷水壓：0.5MPa（MAX） 

水冷水溫：10℃~35℃

Fitting：NPT 1/4（Female）