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AE Rapid OE RPS 遠(yuǎn)程等離子體源采用可由用戶插入安裝和拆卸的石英腔體內(nèi)襯，是氧氣類工藝的理想選擇。

Rapid OE 適合用于光刻膠灰化/碳質(zhì)真空腔清理，石英內(nèi)襯減少了氧復(fù)合，確保反應(yīng)物質(zhì)到工藝腔的有效輸送。Rapid OE功率為6KW，通過變頻和功率控制解離氧氣，實現(xiàn)優(yōu)秀性能。設(shè)備整體采用腔體和可拆卸插入設(shè)計，相較于采用全石英腔體的產(chǎn)品相比，Rapid OE具有更好的可靠性。

由于 Rapid OE 采用可拆卸石英內(nèi)襯，可減少復(fù)合效應(yīng)，延長氧自由基的壽命。與陽極氧化真空腔相比，所產(chǎn)生的活性反應(yīng)物質(zhì)壽命更長，從而提高光刻膠撥出速率。此外，由于操作員可以輕松地安裝或拆卸石英內(nèi)襯，停機時間得以縮短，更換成本也顯著降低。

AE Rapid OE RPS 遠(yuǎn)程等離子體源

優(yōu)點

1. 采用可拆卸、可更換的石英腔體，停機時間和擁有成本均大幅縮減

2. 高解離速率且產(chǎn)生高密度自由基，提高了過程性能

3. 通過變頻調(diào)諧和精密功率控制，確保了工藝的可重復(fù)性和可控性

4. 高度可靠的腔室設(shè)計和冷卻系統(tǒng)增加了腔室壽命，且降低了使用成本

5. 提高工具利用率，減少預(yù)防性維護，降低擁有成本

特點

1. 石英內(nèi)襯理想適用于光刻膠灰化或碳質(zhì)真空腔清理工藝

2. 變頻匹配提高可使用的等離子阻抗范圍，通過改變氣體化學(xué)特征、壓力和功率設(shè)置點實現(xiàn)控制

3. 熱管理改進(jìn)有助于確保真空腔體實現(xiàn)更長壽命

4. 利用低動態(tài)壓力超調(diào)，Rapid OE 可以快速點火并達(dá)到穩(wěn)態(tài)運行