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Advanced Energy AE RFDS-1250 RF Generator 射頻電源，13.56MHz 1250W。

M/N  3155059-026 ； P/N  660-024637-026

AE RFDS-1250 是經(jīng)過長(zhǎng)期現(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)證的具有穩(wěn)定輸出性能的射頻電源，該型射頻電源在實(shí)際運(yùn)行操作過程中體現(xiàn)出了優(yōu)良的工藝穩(wěn)定性和控制能力，能夠?qū)崿F(xiàn)隊(duì)射頻輸出的精準(zhǔn)控制。射頻電源整體上采取了緊湊型的設(shè)計(jì)，可以減少在機(jī)臺(tái)中的空間占用，降低客戶的使用成本。此外具有優(yōu)良可靠的成膜能力，因而被廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體制程的薄膜工藝中，成膜速度快，能夠提高產(chǎn)線中的成膜效率。

提示：AE RFDS-1250在上機(jī)運(yùn)用中可實(shí)現(xiàn)對(duì)AE RFG1250 的替代，兩者運(yùn)行要求一致，功率頻率一致，但由于兩款型號(hào)CEX接口信號(hào)不同，會(huì)導(dǎo)致CEX接口無法使用。