半導(dǎo)體高低溫測(cè)試?yán)渌畽C(jī)（Chiller）主要用于半導(dǎo)體制程中對(duì)反應(yīng)腔室溫度的準(zhǔn)確控制，主要由熱交換器、循環(huán)泵、壓縮機(jī)和控制系統(tǒng)構(gòu)成的一個(gè)自我平衡的循環(huán)裝置，屬于生產(chǎn)過(guò)程中的溫控設(shè)備。
半導(dǎo)體高低溫測(cè)試?yán)渌畽C(jī)控溫精度優(yōu)于±0.3℃，可在-85℃～250℃任意工況切換，具有良好的溫度跟隨性；
半導(dǎo)體高低溫測(cè)試?yán)渌畽C(jī)具有故障自診斷功能，當(dāng)設(shè)備出現(xiàn)故障時(shí)及時(shí)報(bào)警并顯示在觸摸屏上；
半導(dǎo)體高低溫測(cè)試?yán)渌畽C(jī)全密閉管道式設(shè)計(jì)，高溫時(shí)不會(huì)有油霧、低溫不吸收空氣中水份，系統(tǒng)在運(yùn)行中不會(huì)因?yàn)楦邷厥箟毫ι仙?，低溫時(shí)會(huì)自動(dòng)補(bǔ)充導(dǎo)熱介質(zhì)；
西門子 S7-1200PLC，模糊PID控制算法，具備串級(jí)控制算法，導(dǎo)熱油出口溫度與外接溫度傳感器的溫度差可設(shè)定可控制；
半導(dǎo)體高低溫測(cè)試?yán)渌畽C(jī)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、醫(yī)療制藥行業(yè)、LED/LCD器件制造行業(yè)、航天航空領(lǐng)域、裝備制造行業(yè)等。
