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h-square/單晶圓展示器-旋轉(zhuǎn)WPR特點?

時間:2023/12/5閱讀:434
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產(chǎn)品

自動化晶圓處理 > 檢查工具 > WPR-單晶圓展示器-旋轉(zhuǎn)

描述

自動單晶圓展示器設(shè)計用于將晶圓呈現(xiàn)給操作員以進行檢查或從晶圓盒中取出晶圓以及用于宏觀檢查應(yīng)用。WPR 可用于晶圓翻轉(zhuǎn)(反轉(zhuǎn))晶圓 180°,用于背面應(yīng)用。專為 ISO 等級 3(FS209E 等級 1)設(shè)計;抗靜電結(jié)構(gòu)。



WPR 的特點:


旋轉(zhuǎn)升降葉片允許從一個操作員位置進行完整的正面和背面晶圓檢查。

規(guī)格

晶圓尺寸76, 100, 150, 200

電源要求220VAC 至 24VDC   3 安培 電源單獨出售

產(chǎn)品尺寸16"寬 x 14"長 x 21"高

重量50磅

附加信息

裝運重量220磅

裝運尺寸15 × 12 × 20 英寸

WPR 可用于晶圓翻轉(zhuǎn)(反轉(zhuǎn))晶圓 180°,用于背面應(yīng)用。專為 ISO 等級 3(FS209E 等級 1)設(shè)計;抗靜電結(jié)構(gòu)


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