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池田屋實業(yè)(深圳)有限公司
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17607554908

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直銷HORIBA堀場 排氣壓力控制器設備

參   考   價: 15323

訂  貨  量: ≥1 件

具體成交價以合同協(xié)議為準

產品型號EC-5105

品       牌HORIBA/堀場

廠商性質經銷商

所  在  地深圳市

更新時間:2024-08-07 16:54:02瀏覽次數(shù):339次

聯(lián)系我時,請告知來自 化工儀器網(wǎng)
產地類別 進口 價格區(qū)間 1萬-5萬
試驗力加載速率 見資料 壓板間距 見資料mm
應用領域 建材/家具,電子/電池,道路/軌道/船舶,電氣,綜合 最大試驗力 見目錄KN
訂貨號 176.0755.4908.
直銷HORIBA堀場 排氣壓力控制器設備
從微流量(5SCCM FS)到大流量(500SLM FS)均可控制
保證高精度
1秒內高速響應
全量程(T98)
尺寸緊湊,

直銷HORIBA堀場  排氣壓力控制器設備

直銷HORIBA堀場  排氣壓力控制器設備

對氦氣和氬氣等導熱氣體進行穩(wěn)定且高精度的壓力控制,這對于控制晶圓背面的溫度至關重要。配備高速、高分辨率壓電閥和質量流量傳感器,不僅可以精確穩(wěn)定地進行微小壓力控制,還可以進行流量測量。

業(yè)務部門:半導體

產品類別:流體控制

制造商:HORIBA STEC, Co., Ltd. 通過使用經過驗證的電容式壓力傳感器,可以在低壓下進行精確的壓力控制。

壓力控制期間高精度監(jiān)控氣體流量。

對氦氣和氬氣等導熱氣體進行穩(wěn)定且高精度的壓力控制,這對于控制晶圓背面的溫度至關重要。配備高速、高分辨率壓電閥和質量流量傳感器,不僅可以精確穩(wěn)定地進行微壓差控制,還可以進行流量測量。

業(yè)務部門:半導體

產品類別:流體控制

制造商:HORIBA STEC, Co., Ltd.

供貨精準穩(wěn)定

配備質量

流量傳感器配備質量流量控制器中廣泛使用的質量流量傳感器,可以以與原料氣體供應過程相同的精度監(jiān)控實際流量。

與質量流量控制器相同的尺寸

與質量流量控制器相同的尺寸和配件兼容,因此可以進行類似的設計和構造。

符合RoHS指令

這是一款配備數(shù)字控制電路的自動壓力調節(jié)器,該電路使用高精度壓力傳感器和高分辨率、高速響應壓電閥。

采用全金屬結構(氣體接觸部分)和無死體積結構,可對腐蝕性氣體和低蒸氣壓氣體進行穩(wěn)定的壓力控制。它可以使用外部信號進行遠程控制,非常適合安裝在需要全面氣體控制的系統(tǒng)中,例如需要全面性能評估的氣體傳感器和耐壓評估系統(tǒng)。


EC-5104

互動規(guī)模西北40
氣體接觸材料SUS-316L、Viton®
電導
(真空區(qū)域)
0.4~80升/秒
流出量100mmH2O
(全閉)

20升/分鐘


可滾動的

EC-5105

互動規(guī)模西北50
氣體接觸材料SUS-316L、Viton®
電導
(真空區(qū)域)
0.6~200升/秒
流出量100mmH2O
(全閉)
25升/分鐘
可滾動的

EC-5202

互動規(guī)模25mm Teflon® 接頭
1 英寸 Teflon® 接頭
氣體接觸材料PTFE、PEEK、Viton®
電導
(真空區(qū)域)
0.4~80升/秒
流出量100mmH2O
(全閉)
3升/分鐘
可滾動的






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