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ULVAC愛發(fā)科 SP1 真空計測量單元

操作性的提高：通過與PC/智能手機(jī)的連接，可以進(jìn)行設(shè)定點設(shè)置、狀態(tài)確認(rèn)等。

燈絲壽命通知功能：通過監(jiān)測燈絲功率，可提前通知燈絲壽命。

可連接到不同的測量范圍：復(fù)合電離真空計可以根據(jù)工藝選擇測定子。

小型化：與之前的產(chǎn)品相比，實現(xiàn)了尺寸的大幅縮?。刂破黧w積縮小56%），成為同級別最小的產(chǎn)品之一。

更豐富的陣容：除了模擬輸出規(guī)格和串行通信規(guī)格之外，還將增加EtherCAT規(guī)格

一臺三極管金屬電離真空計（正在申請）：即使在惡劣的環(huán)境中，真空計的使用壽命也很長。

壓力測量范圍廣：從大氣壓到高真空范圍（1×10+5～1×10-5Pa）（選配SWU10-R的情況下）。

可以精確的測量大氣壓：可以檢查腔體的開啟情況（當(dāng)連接了可選的單元SAU時）。

用途

用于有機(jī)EL?觸摸屏等制造設(shè)備的極限壓力確認(rèn)以及工藝管理用真空爐等各種工業(yè)真空設(shè)備的極限壓力確認(rèn)

用于在含有多種碳?xì)浠衔铮ㄓ皖悾┑沫h(huán)境中進(jìn)行測量

用于在真空零件加工時殘留切削油和清潔液的環(huán)境中進(jìn)行測量

用于需要降低測定子更換頻率的真空設(shè)備

真空防潮箱由真空泵制造商提供。

特點

類型	傳感器單元
模型	SP1
兼容傳感器頭	WP-01、WP-02、WP-03、WP-16
準(zhǔn)確性	±15 %（51帕～760帕）
	±30 %（10帕～1000帕）
	±50 %（0.4帕～3000帕）
工作溫度范圍	10～40℃
測量值輸出	非線性輸出：0至5VDC（最大10V）
設(shè)定點 1/2 壓力設(shè)定調(diào)整監(jiān)視器	非線性輸出：0至5VDC（最大10V）
控制輸出信號	開路集電極輸出，負(fù)邏輯
	錯誤信號
	設(shè)定點 1/2
LED 顯示屏	電源、錯誤、設(shè)定點 1、設(shè)定點 2
電源電壓	DC24V±2V, 90mA（最大）
輸入/輸出連接器	D-sub-15P（M2.6螺絲）
重量	190g /0.41lb（不包括傳感器頭）
標(biāo)準(zhǔn)配件	輸入/輸出連接器 1個
標(biāo)準(zhǔn)配件	快速手冊 1本

IO和模擬GND與電源GND不隔離。