ULVAC愛發(fā)科 CRTS-12NS 通用型回轉(zhuǎn)式多傳感器
ULVAC愛發(fā)科 CRTS-12NS 通用型回轉(zhuǎn)式多傳感器
操作性的提高：通過與PC/智能手機(jī)的連接，可以進(jìn)行設(shè)定點(diǎn)設(shè)置、狀態(tài)確認(rèn)等。
燈絲壽命通知功能：通過監(jiān)測燈絲功率，可提前通知燈絲壽命。
可連接到不同的測量范圍：復(fù)合電離真空計(jì)可以根據(jù)工藝選擇測定子。
小型化：與之前的產(chǎn)品相比，實(shí)現(xiàn)了尺寸的大幅縮?。刂破黧w積縮小56%），成為同級(jí)別最小的產(chǎn)品之一。
更豐富的陣容：除了模擬輸出規(guī)格和串行通信規(guī)格之外，還將增加EtherCAT規(guī)格
一臺(tái)三極管金屬電離真空計(jì)（正在申請）：即使在惡劣的環(huán)境中，真空計(jì)的使用壽命也很長。
壓力測量范圍廣：從大氣壓到高真空范圍（1×10+5～1×10-5Pa）（選配SWU10-R的情況下）。
可以精確的測量大氣壓：可以檢查腔體的開啟情況（當(dāng)連接了可選的單元SAU時(shí)）。
用途
用于有機(jī)EL?觸摸屏等制造設(shè)備的極限壓力確認(rèn)以及工藝管理用真空爐等各種工業(yè)真空設(shè)備的極限壓力確認(rèn)
用于在含有多種碳?xì)浠衔铮ㄓ皖悾┑沫h(huán)境中進(jìn)行測量
用于在真空零件加工時(shí)殘留切削油和清潔液的環(huán)境中進(jìn)行測量
用于需要降低測定子更換頻率的真空設(shè)備
多傳感器
CRTS 系列
CRTS-12NS
愛發(fā)科
CRTS-12NS是為水晶振蕩式成膜控制器CRTM系列開發(fā)的回轉(zhuǎn)式多傳感器。
可以搭載5MHz水晶振蕩片12枚、長時(shí)間連續(xù)蒸發(fā)也可放心使用。
特點(diǎn)
可搭載12枚AT切割的5MHz水晶振動(dòng)子
使用了真空電機(jī)的獨(dú)-特驅(qū)動(dòng)方式實(shí)現(xiàn)了高可靠性
水晶震動(dòng)子的更換非常方便
當(dāng)檢測到水晶振動(dòng)子振蕩異常時(shí)，可以自動(dòng)進(jìn)行水晶振動(dòng)子切換（當(dāng)CRTM系列用作控制器時(shí)）
用途
光學(xué)、光通信部品的蒸發(fā)
有機(jī)物的蒸發(fā)
電子部品,其他蒸發(fā)
