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在 PECVD 過程中，需要精確配比反應(yīng)氣體，如硅烷（SiH?）、氨氣（NH?）等。氣體質(zhì)量流量控制器MFC能夠準(zhǔn)確測量和控制這些氣體的流量，確保薄膜的厚度、均勻性和光電性能達到理想狀態(tài)，從而提高光伏電池的轉(zhuǎn)換效率和穩(wěn)定性。
PVD（物理氣相沉積）：PVD 過程中，也需要對各種反應(yīng)氣體進行精確控制。氣體質(zhì)量流量控制器可以根據(jù)工藝要求，穩(wěn)定地提供所需的氣體流量，保證沉積薄膜的質(zhì)量和性能，滿足光伏電池的生產(chǎn)需求。