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上海熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)MFM毛細(xì)管熱質(zhì)量流量計(jì),直接測(cè)量較低流量范圍內(nèi)的清潔氣體和混合氣體的質(zhì)量流量。

主要參數(shù)

介質(zhì)要求   潔凈干燥氣體

氣體種類  98+氣體可選

量程  10，20，50，100，300，500 sccm

0-1，2，5，10，20，30，50，100，200，500slpm

測(cè)量范圍  0.5%-100% F.S.

準(zhǔn)確度  ±0.5% F.S.

重復(fù)精度  ±0.2%F.S.

線性度  ±0.2%F.S.

分辨率  0.001 sccm（<10L/min），1sccm（10-50L/min）

傳感器響應(yīng)時(shí)間<1s

預(yù)熱時(shí)間 5 min（T95），30 分鐘最佳

機(jī)械特性   最大工作壓力  3 MPa（30bar）

工作壓差范圍  0-1 MPa

工作溫度范圍  -20~65℃（環(huán)境和氣體）

濕度范圍  0 ~ 98%無凝露

氣路接頭類型  快插、快擰、卡套、VCR（可選）

氣體接觸材質(zhì)  氟橡膠、316不銹鋼

密封材質(zhì)  氟橡膠 FKM

防護(hù)等級(jí)  IP40

安裝方式  水平安裝方向校準(zhǔn)

固定孔  M4 ? 5mm

重量  0.82kg 電氣和通訊

電氣連接接口類型  DB-9 公頭

模擬信號(hào)  0 - 5 VDC，4 - 20 mA（可定制）

輸入輸出阻抗  輸入阻抗>10MΩ，輸出阻抗<1KΩ

模擬數(shù)據(jù)更新頻率  200Hz

數(shù)字信號(hào)  RTU （RS232， RS485），CAN

通信速率  9600（默認(rèn)），14400，19200，38400，56000，57600，115200 bps（可修改）

電源  15-40 VDC，<200 mA

顯示更新頻率  50Hz

模擬信號(hào)精度  ±0.05%F.S.