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玉崎科學儀器（深圳）有限公司
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XHEMIS EX-2000玉崎科學半導(dǎo)體設(shè)備理學Rigaku射線膠片厚度
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具體成交價以合同協(xié)議為準- XHEMIS EX-2000 產(chǎn)品型號
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訪問次數(shù)：178更新時間：2024-09-29 09:27:04
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產(chǎn)品簡介
| 價格區(qū)間 | 面議 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,綜合 |
|---|
玉崎科學半導(dǎo)體設(shè)備理學Rigaku射線膠片厚度
使用 射線熒光 (XRF) 和 射線反射 (XRR) 的非接觸式、非破壞性薄膜厚度和密度測量裝置
產(chǎn)品介紹
玉崎科學半導(dǎo)體設(shè)備理學Rigaku射線膠片厚度
玉崎科學半導(dǎo)體設(shè)備理學Rigaku射線膠片厚度
采用新型 XRR 光學系統(tǒng)和新開發(fā)的信號處理技術(shù)實現(xiàn)高吞吐量和高動態(tài)范圍
通過采用新開發(fā)的配備高速探測器的光學系統(tǒng)，我們實現(xiàn)了高通量XRR測量（15-25WPH）。此外，通過應(yīng)用特殊的信號處理，可以獲得低噪聲和高動態(tài)范圍的清晰頻譜。
XHEMIS EX-2000 概述
?新的角度調(diào)整方法縮短了對準時間
通過利用射線反射調(diào)整角度，我們實現(xiàn)了快速、準確的樣品傾斜校正。
?晶圓面內(nèi)分布評價
對面內(nèi)膜厚分布進行射線分析時，晶圓高度的調(diào)整非常重要。配備高速Z軸對準功能，支持多種薄膜類型，可實現(xiàn)整個晶圓的高精度映射測量。
·應(yīng)用
FEOL：CoSix、NiSix、SiGe、High-κ 薄膜、Al...
BEOL：勢壘金屬、Ta/TaN、Ti/TiN、Cu 籽晶、Cu 電鍍、W...
各種工藝中使用的各種薄膜類型，對應(yīng)于薄膜厚度。
?全自動設(shè)備日常管理功能AutoCal
為了在XRR和XRF測量中獲得準確穩(wěn)定的分析值，需要定期檢查和管理光學系統(tǒng)、X射線源和探測器。該設(shè)備配備了“AutoCal"功能，可以全自動執(zhí)行這些日常管理任務(wù)。減輕了操作人員的工作量。
?人性化的操作畫面
它具有基于其他型號中也使用的經(jīng)過驗證的軟件的多種功能，并配備了不需要復(fù)雜分析的新型 XRR 薄膜厚度和密度分析軟件，使得可以通過簡單的操作執(zhí)行從測量到分析的所有操作.
?支持C to C自動運輸
支持200mm至100mm晶圓的自動開盒傳送。 （可選）
- 兼容在線通信功能，
可與上位機進行SECS通信。兼容各種CIM/FA。 （選項）
