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玉崎科學(xué)儀器（深圳）有限公司
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WaferX 310玉崎科學(xué)半導(dǎo)體設(shè)備理學(xué)Rigaku射線膠片厚度
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訪問(wèn)次數(shù)：236更新時(shí)間：2024-09-29 09:40:34
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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
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|---|
玉崎科學(xué)半導(dǎo)體設(shè)備理學(xué)Rigaku射線膠片厚度
用于薄膜評(píng)估的熒光 射線分析儀
產(chǎn)品介紹
玉崎科學(xué)半導(dǎo)體設(shè)備理學(xué)Rigaku射線膠片厚度
玉崎科學(xué)半導(dǎo)體設(shè)備理學(xué)Rigaku射線膠片厚度
波長(zhǎng)色散X射線熒光光譜儀（WD-XRF），能夠以無(wú)損、非接觸的方式同時(shí)分析300mm和200mm晶圓上各種薄膜的膜厚和成分。
這是一款波長(zhǎng)色散射線熒光光譜儀（WD-XRF），能夠以無(wú)損、非接觸的方式同時(shí)分析300mm和200mm晶圓上各種薄膜的厚度和成分。兼容 GEM300 和 300mm Fab 的內(nèi)聯(lián)規(guī)格。 XYθZ驅(qū)動(dòng)方式的樣品臺(tái)能夠準(zhǔn)確分析各種金屬薄膜，同時(shí)避免衍射線的影響。使用4kW高功率X射線管可以測(cè)量微量元素。此外，可以使用高靈敏度硼檢測(cè)器對(duì) BPSG 薄膜中的硼等超輕元素進(jìn)行高精度分析。它配備了樣品高度校正功能和Auto Cal（全自動(dòng)日常檢查/強(qiáng)度校正功能），這是頂部照射方法中。
WaferX 310 概述
兼容微量元素濃度和成分分析
兼容從輕元素到重元素的多種元素： 4 Be 到92 U
高靈敏度硼檢測(cè)儀AD-Boron
我們不斷開發(fā)新的光學(xué)系統(tǒng)，例如改進(jìn)硼分析能力，以提高分析精度和穩(wěn)定性。 此外，恒溫機(jī)構(gòu)和真空度穩(wěn)定機(jī)構(gòu)是用于穩(wěn)定的標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備。
XY-θ-Z驅(qū)動(dòng)臺(tái)
XY-θ-Z 驅(qū)動(dòng)方法樣品臺(tái)和測(cè)量方向設(shè)置程序可實(shí)現(xiàn)整個(gè)晶圓表面上的精確薄膜厚度和成分分布測(cè)量。 鐵電薄膜也不受衍射線的影響。
應(yīng)用
半導(dǎo)體器件 BPSG, SiO 2 , Si 3 N4, ... 摻雜多晶硅(B,P,N,As), Wsix, ... AlCu, TiW, TiN, TaN, ... PZT, BST, SBT, .. MRAM、...?
金屬膜W、Mo、Ti、Co、Ni、Al、Cu、Ir、Pt、Ru、...
高κ/金屬柵Al、La、Hf、...
焊料凸塊
豐富的固定測(cè)角儀陣容
我們根據(jù)膜厚和膜結(jié)構(gòu)提供最佳的固定測(cè)角儀。我們還有一個(gè)專用的光學(xué)系統(tǒng)，可以分析硅晶圓上的 Wsix 薄膜。
全自動(dòng)設(shè)備日常管理功能AutoCal
為了獲得準(zhǔn)確的分析值，必須正確校準(zhǔn)儀器。為此，必須定期測(cè)量檢查晶圓和PHA調(diào)整晶圓作為管理晶圓，以保持設(shè)備處于良好狀態(tài)。這種日常校準(zhǔn)工作是自動(dòng)化的，減少了操作員的工作量。 這就是“AutoCal 功能"。
兼容 300mm 晶圓廠
Fab配備標(biāo)準(zhǔn)FOUP/SMIF接口，兼容300mm/200mm晶圓。 它還支持各種AMHS，并通過(guò)支持主機(jī)和SECS/GEM協(xié)議來(lái)支持CIM/FA。
