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進(jìn)口供應(yīng)EBARA 荏原ESA100W干式真空泵

2025-4-23  閱讀(30)

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# 2025年新品發(fā)布會(huì)#

日期:2025年4月23日

時(shí)間:8:30-18:30

近期我司新推出升級(jí)了進(jìn)口供應(yīng)EBARA 荏原ESA100W干式真空泵

型號(hào) ESA 干式真空泵,可排出氫氣等輕質(zhì)氣體,可對(duì)大腔室進(jìn)行高速排氣 用于高速排氣的大型真空室 有機(jī)溶劑兼容選項(xiàng) 氫氣等輕質(zhì)氣體的排放 耐腐蝕材料選項(xiàng) 油 提供 CE 標(biāo)志/SEMI-S2/NRTL 研究設(shè)備的理想選擇 特定化學(xué)物質(zhì)的吸附

ESA 型號(hào)陣容包括排量為 1,400 L/min ~ 10,000 L/min 的排量型號(hào),適用于排氣氫氣等輕質(zhì)氣體,以及排量為 20,000 L/min ~ 80,000 L/min 的型號(hào),適用于大室的高速排氣。 適用于低于 10,000 L/min 的輕型氣體排放,提供緊湊的設(shè)計(jì)和耐腐蝕材料選項(xiàng),使其成為 MO-CVD 等高流量輕型氣體排放應(yīng)用的理想選擇。 大型型號(hào)盡管排量大,但仍能實(shí)現(xiàn)安靜的噪音和低振動(dòng),并且可以選擇排出有機(jī)溶劑的選項(xiàng),使其成為 LCD 濺射設(shè)備、真空干燥工藝、大負(fù)載鎖等的理想選擇。


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