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KASHIYAMA樫山工業(yè)耐加工真空泵MU100P/H
KASHIYAMA樫山工業(yè)耐加工真空泵MU100P/H

地:日本

貨物所在地:北京北京市

更新時(shí)間:2025/1/17 18:08:14

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供應(yīng)簡介
KASHIYAMA樫山工業(yè)耐加工真空泵MU100P/H
能夠很好地應(yīng)對芯片、FPD的大口徑化通過高速排氣縮短節(jié)拍時(shí)間通過組合可實(shí)現(xiàn)大排氣量化。滿足超過15萬L/min的要求。通過確保大氣側(cè)排氣速通過大型負(fù)載鎖定室的高速排氣縮短節(jié)拍時(shí)間。


詳細(xì)介紹

KASHIYAMA樫山工業(yè)耐加工真空泵MU100P/H

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采用立式螺桿和特殊材料的高耐腐蝕性、采用單螺桿形狀實(shí)現(xiàn)節(jié)能、多樣化的產(chǎn)品線可滿足所有流程

多種溫度變化可滿足多種工藝需求,并通過20000L/min等級比本公司減少35%的足跡新的加熱器系統(tǒng)進(jìn)一步提高工藝耐用性

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DX節(jié)能/嚴(yán)酷工藝兼容機(jī)、SDT/SDH耐工藝/超嚴(yán)酷工藝兼容機(jī)

不使用N2吹掃時(shí)的值。 最終運(yùn)行時(shí)功耗的近似值。 封裝尺寸。請索取外部圖紙以了解詳細(xì)尺寸。

規(guī)格/型號MU100P/HMU180P/HMU300P/HMU600P/HMU1218P/HMU20N18P/HMU30N18P/H
最大抽速
[L/min] *2
1,6603,0005,00010,00020,00030,00050,000
極限壓力
[Pa] *2
3.05.00.5
電源電壓
(50/60Hz)
三相AC200~220V *3
消耗功率
[kW] *4
0.71.00.90.951.41.51.6
外形尺寸 [mm] 長×寬×高*5630×350×360715×360×408630×350×520870×380×7511000×450×950
質(zhì)量[公斤]70130110130280410410

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