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當(dāng)前位置:山金工業(yè)(深圳)有限公司>>技術(shù)文章>>DIT空氣動力學(xué)噴嘴與自動平衡技術(shù)解析
在半導(dǎo)體、液晶面板、精密電子制造等對潔凈度要求嚴(yán)格的行業(yè)中,靜電消除是保障生產(chǎn)良率與設(shè)備安全的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。傳統(tǒng)離子棒雖能中和靜電,但普遍存在維護頻繁、能耗高的問題,導(dǎo)致企業(yè)運營成本增加。針對這一痛點,Dong Il Technology(DIT)通過技術(shù)創(chuàng)新,開發(fā)出具備長效免維護特性的離子棒產(chǎn)品。本文將從空氣動力學(xué)噴嘴設(shè)計、自動平衡技術(shù)原理、實際應(yīng)用效果三個維度,解析其技術(shù)特點與優(yōu)勢。
傳統(tǒng)離子棒依賴壓縮空氣(CDA)將電離后的正負(fù)離子輸送至目標(biāo)區(qū)域。然而,噴嘴設(shè)計不合理會導(dǎo)致氣流在出口處形成湍流,引發(fā)以下問題:
污染物堆積(Fuzzy Ball效應(yīng)):湍流使塵埃、纖維等顆粒物吸附在噴嘴端,形成類似“毛球"的污染物,阻礙離子釋放效率。
高能耗:為維持足夠離子密度,通常需要增加噴嘴數(shù)量或提高空氣流量,導(dǎo)致壓縮空氣消耗量過大。
DIT通過空氣動力學(xué)仿真與實驗驗證,重新設(shè)計噴嘴內(nèi)部結(jié)構(gòu),實現(xiàn)兩大改進:
層流導(dǎo)向技術(shù):采用漸縮式流道和導(dǎo)流鰭片,將湍流轉(zhuǎn)化為層流,減少氣流與噴嘴壁面的摩擦(圖1)。這一設(shè)計顯著降低了污染物附著風(fēng)險。
低流量高效電離:每個噴嘴的壓縮空氣消耗量從行業(yè)平均的2.56 L/min降至2 L/min(0.1 MPa壓力下),在相同覆蓋范圍內(nèi)減少噴嘴數(shù)量。例如,3000 mm離子棒僅需59個噴嘴,而競品需要56個,總空氣消耗量卻降低17.7%。
廠商 | 噴嘴數(shù)量 | 空氣消耗量(L/min) |
---|---|---|
S公司(競品) | 56 | 143.36 |
DIT(ASG系列) | 59 | 118 |
離子棒需持續(xù)輸出均衡的正負(fù)離子以中和靜電。然而,電極污染、環(huán)境溫濕度變化或電壓波動可能導(dǎo)致離子偏置(Ion Bias)。例如,正離子過量會使目標(biāo)物體帶負(fù)電,降低靜電消除效率,甚至引發(fā)二次放電,損壞敏感元器件。
DIT在離子棒中集成自動平衡電路,通過三步實現(xiàn)動態(tài)調(diào)整:
實時監(jiān)測:高精度傳感器每秒檢測目標(biāo)區(qū)域的殘余電壓;
算法調(diào)控:根據(jù)電壓極性調(diào)整高壓電源(HVPS)的輸出頻率(0.5~60 Hz可調(diào)),平衡正負(fù)離子比例;
自清潔功能:當(dāng)電極污染導(dǎo)致性能下降時,觸發(fā)高壓脈沖放電,清除附著物。
在DIT潔凈室(Class 100)的測試中,ASG-A系列離子棒連續(xù)運行5個月未清潔,性能仍符合行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)(表2):
離子平衡:±30 V以內(nèi)(標(biāo)準(zhǔn)要求±50 V);
衰減時間:≤2.8秒(標(biāo)準(zhǔn)要求<3秒)。
時間(月) | 離子平衡(±V) | 衰減時間(秒) | 噴嘴污染指數(shù) |
---|---|---|---|
0 | ±10 | ≤1.5 | 0% |
3 | ±25 | ≤2.0 | 15% |
5 | ±30 | ≤2.8 | 28% |
在三星某12英寸晶圓封裝車間,DIT ASG-P系列離子棒被部署在鍵合機上方(安裝距離300 mm)。相比原競品,DIT產(chǎn)品帶來以下改進:
維護周期延長:從每月1次延長至每6個月1次,年停機時間減少80小時;
能耗降低:壓縮空氣消耗量減少40%,年節(jié)約成本超1.2萬美元。
LG Display在OLED蒸鍍工序中采用DIT AMF-AE系列脈沖型離子棒(安裝距離1.5 m)。其寬覆蓋范圍與穩(wěn)定離子平衡使面板表面靜電電位從±200 V降至±15 V,缺陷率降低0.3%,顯著提升產(chǎn)品良率。
DIT正進一步優(yōu)化離子棒技術(shù),以適應(yīng)多樣化工業(yè)需求:
遠(yuǎn)程監(jiān)控(RMS):通過RS-485或Zigbee通信,實時監(jiān)測多臺設(shè)備狀態(tài),支持集中管理;
環(huán)境自適應(yīng):根據(jù)溫濕度、顆粒物濃度自動調(diào)整工作模式;
模塊化設(shè)計:噴嘴與電路板支持快速更換,降低維護復(fù)雜度與成本。
DIT離子棒的長效免維護特性,源于空氣動力學(xué)噴嘴與自動平衡技術(shù)的協(xié)同創(chuàng)新。通過減少污染物附著、動態(tài)調(diào)整離子輸出,其在降低能耗的同時,顯著提升了設(shè)備穩(wěn)定性。對于依賴高精度制造的企業(yè)而言,這不僅意味著成本的節(jié)約,更是生產(chǎn)可靠性的重要保障。未來,隨著智能化技術(shù)的融入,DIT或?qū)殪o電消除領(lǐng)域樹立新的先驅(qū)。
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