KASHIYAMA日本樫山真空泵MU1200XE的特點

抽速高：最大抽速可達 20,000L/min，能快速抽取氣體，可滿足大負載真空需求，大大縮短抽氣時間，提高生產(chǎn)效率，適用于對抽氣速度要求高的工藝，如大型半導體鍍膜設備、大型真空干燥設備等。

極限壓力低：極限壓力為 0.5Pa，可獲得高真空度，能滿足對真空環(huán)境要求苛刻的工藝，如高精度半導體光刻、電子束蒸發(fā)等工藝對真空度要求，該真空泵能提供穩(wěn)定的高真空環(huán)境。

無油潔凈：采用無油運轉設計，避免油污染，可確保工藝腔體潔凈無殘留。適用于對潔凈度要求高的行業(yè)，如半導體、液晶、LED 及太陽能光伏等，在這些行業(yè)中，微小的油滴或油蒸氣都可能對產(chǎn)品質量產(chǎn)生嚴重影響。

節(jié)能環(huán)保：配備低功耗電機，功率約 0.6kW。運行能效比優(yōu)于同類產(chǎn)品，降低了能耗與運行成本；同時采用變頻驅動（VFD）調節(jié)轉速，可根據(jù)實際需求調整抽氣速度，進一步節(jié)能，能耗較油封泵可降低 30% - 50%。

結構緊湊：尺寸為 625×275×580mm，重量約 165kg，占地面積小，便于安裝在空間有限的設備中，適合設備集成和改造項目，可靈活安裝在各種生產(chǎn)線上，不占用過多空間。

維護便捷：采用模塊化結構，檢修流程簡單，無需復雜的拆卸和組裝過程，可降低維護成本和停機時間。維護人員可快速定位和更換故障模塊，減少設備停機維修時間，提高設備利用率。

電源適應性強：電源為三相 AC200 - 220V，50/60Hz，能適應多種電力供應環(huán)境，方便在不同地區(qū)和場合使用，無需額外配置復雜的電源轉換設備。

運行穩(wěn)定：摩擦部件少，可承受連續(xù)運轉，不易出現(xiàn)故障。且噪音低、振動小，連續(xù)排氣無脈動，能為工作環(huán)境提供較好的條件，減少對工作場所的噪音污染和振動干擾。

智能控制：具有實時參數(shù)顯示功能，可通過觸摸屏或遠程接口（Modbus / 以太網(wǎng)）輸出真空度、溫度、功耗等數(shù)據(jù)；還配備自診斷系統(tǒng)，通過振動、溫度傳感器對異常情況（如過載或異物進入）進行預警，并自動停機保護，方便操作人員實時監(jiān)控設備運行狀態(tài)，及時發(fā)現(xiàn)和處理問題。