HORIBA SEC-Z500X 多量程/多氣體數(shù)字質(zhì)量流量控制器

產(chǎn)品概述

HORIBA 的 SEC-Z500X 系列是一款高性能多量程/多氣體數(shù)字質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller，簡稱 MFC），專為半導(dǎo)體、化學(xué)氣相沉積（CVD）、等離子體蝕刻及其他高精度氣體控制應(yīng)用設(shè)計。其核心優(yōu)勢在于 多氣體、多量程、快速響應(yīng)與高精度控制 的結(jié)合，極大提高了設(shè)備兼容性與工藝靈活性。

產(chǎn)品特點

• 多氣體/多量程支持
  內(nèi)置多種氣體校準(zhǔn)參數(shù)與多檔滿量程設(shè)置（Multi-Gas/Multi-Range，MG/MR），可通過配置軟件靈活切換氣體類型及流量范圍，無需更換設(shè)備。

• 高速響應(yīng)性能
  借助 HORIBA 的“可變 PID 控制技術(shù)"，實現(xiàn) 1 秒內(nèi)響應(yīng)至設(shè)定流量值，提升生產(chǎn)效率。

• 高精度控制
  利用非線性多項式曲線補償，實現(xiàn) ±1% S.P. 的控制精度，確保工藝穩(wěn)定性。

• 多種通信接口可選
  支持 DeviceNet™、EtherCAT®、RS-485、模擬電壓/電流信號等，便于系統(tǒng)集成。

• 緊湊設(shè)計，安裝方便
  緊湊型模塊設(shè)計適合狹小空間的機柜或管道系統(tǒng)，無需改動原有布局。

• 遠程配置與診斷
  支持通過 HORIBA 提供的軟件進行參數(shù)設(shè)定、氣體/流量切換、狀態(tài)監(jiān)測和故障診斷。

技術(shù)規(guī)格

應(yīng)用領(lǐng)域

• 半導(dǎo)體制程（CVD、Etching、ALD 等）

• 精密化學(xué)反應(yīng)器

• 氣體混配與輸送系統(tǒng)

• 表面處理與薄膜沉積設(shè)備

• 光電/太陽能行業(yè)設(shè)備

• 激光切割與工業(yè)氣體控制