HORIBA SEC-8000F/D/E 系列 高溫?cái)?shù)字式質(zhì)量流量控制器

產(chǎn)品概述

HORIBA SEC-8000 F/D/E 系列是一款專為高溫環(huán)境設(shè)計(jì)的高溫?cái)?shù)字式質(zhì)量流量控制器（MFC），適用于 15°C 至 120°C 的使用溫度范圍。該系列產(chǎn)品集成了高精度控制、快速響應(yīng)和高潔凈設(shè)計(jì)，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光伏和光纖等行業(yè)的高溫氣體流程管理。

產(chǎn)品特點(diǎn)

• 高溫適用性：可在 15°C 至 120°C 的環(huán)境下穩(wěn)定運(yùn)行，滿足苛刻工藝條件。

• 高精度控制：控制精度高達(dá) ±1.0% of S.P.，確保關(guān)鍵工藝中流量穩(wěn)定可靠。

• 快速響應(yīng)性能：響應(yīng)時(shí)間短，提高系統(tǒng)整體效率，適合動(dòng)態(tài)氣體控制需求。

• 全金屬超潔凈設(shè)計(jì)：適用于高純氣體和腐蝕性氣體，適配最嚴(yán)苛潔凈度要求。

• 多種通訊協(xié)議：支持?jǐn)?shù)字（RS485）與 DeviceNet 通訊（根據(jù)型號(hào)區(qū)分）。

• 環(huán)保合規(guī)：通過(guò) RoHS 標(biāo)準(zhǔn)，降低對(duì)環(huán)境的影響。

技術(shù)規(guī)格