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曦源科學(xué)儀器(上海)有限公司
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當(dāng)前位置:曦源科學(xué)儀器(上海)有限公司>>在線分析儀器>>質(zhì)量流量計(jì)>> SEC-Z512/514//522/524HORIBA高性能數(shù)字質(zhì)量流量控制器

HORIBA高性能數(shù)字質(zhì)量流量控制器

參   考   價(jià): 18000

訂  貨  量: ≥1 件

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)SEC-Z512/514//522/524

品       牌HORIBA/堀場(chǎng)

廠商性質(zhì)代理商

所  在  地上海市

更新時(shí)間:2025-04-21 15:24:05瀏覽次數(shù):245次

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產(chǎn)地類別 進(jìn)口 產(chǎn)品種類 差壓式
價(jià)格區(qū)間 面議 介質(zhì)分類 氣體
應(yīng)用領(lǐng)域 環(huán)保,食品/農(nóng)產(chǎn)品,化工,電子/電池,制藥/生物制藥 控制范圍 10 SCCM ~ 500 SLM(以氮?dú)?N? 為基準(zhǔn))
支持氣體 多種氣體(支持用戶自定義設(shè)置) 控制精度 ±1.0% S.P.
響應(yīng)時(shí)間 ≤ 1 秒 通信接口 模擬(0-5 V / 4-20 mA)、數(shù)字、DeviceNet?、EtherCAT?
SEC-Z512/514//522/524HORIBA高性能數(shù)字質(zhì)量流量控制器是 HORIBA 暢銷的數(shù)字式質(zhì)量流量控制器。它具有多量程/多氣體功能,用戶能夠快速方便地現(xiàn)場(chǎng)更改氣體類型或滿量程流量。

SEC-Z512/514//522/524 HORIBA高性能數(shù)字質(zhì)量流量控制器

產(chǎn)品概述

HORIBA 的 SEC-Z500X 系列是HORIBA高性能數(shù)字質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller, MFC),集成多氣體/多量程功能,具備出色的精度、響應(yīng)速度和穩(wěn)定性,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光伏、光纖制造等高要求工業(yè)過(guò)程控制場(chǎng)景。

產(chǎn)品特點(diǎn)

  • 寬流量控制范圍
    控制范圍覆蓋 10 SCCM ~ 500 SLM,適配各種氣體和工藝需求。

  • 高控制精度
    控制精度高達(dá) ±1.0% S.P.,裝配“可變 PID 系統(tǒng)",可在任意兩個(gè)設(shè)定點(diǎn)之間實(shí)現(xiàn) 1 秒響應(yīng)。

  • 多種通訊接口
    支持 RS485、DeviceNet™、PROFIBUS™、EtherCAT® 及模擬 0–5V DC 信號(hào)輸出,便于系統(tǒng)集成。

  • 多供電及密封選項(xiàng)
    支持 ±15VDC 與 24VDC 兩種供電,提供橡膠密封或金屬密封可選,適應(yīng)不同使用環(huán)境。

  • 優(yōu)異的長(zhǎng)期穩(wěn)定性與耐久性
    高可靠性設(shè)計(jì),適應(yīng)嚴(yán)苛工業(yè)環(huán)境,減少維護(hù)頻次。

技術(shù)規(guī)格

HORIBA高性能數(shù)字質(zhì)量流量控制器

HORIBA高性能數(shù)字質(zhì)量流量控制器

適用場(chǎng)景

  • 半導(dǎo)體制造:CVD、Etching、Oxidation、Diffusion 等工藝氣體精密控制

  • 光伏與光電子制造

  • 光纖預(yù)制棒與拉絲過(guò)程控制

  • 精密材料薄膜沉積(PVD/CVD)

  • 化學(xué)氣相反應(yīng)與配比混氣控制

  • 大氣/真空環(huán)境下的實(shí)驗(yàn)室測(cè)試設(shè)備

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