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TPY-2-自動橢圓偏振測厚儀
  • TPY-2-自動橢圓偏振測厚儀
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貨物所在地:上海上海市

更新時間:2025-04-24 21:00:05

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產(chǎn)品特點(diǎn):儀器采用消光法自動測量薄膜厚度和折射率,具有精度高、靈敏度高以及自動控制等特點(diǎn)。光源采用氦氖激光器,功率穩(wěn)定波長精度高。儀器采用PCI接口與電腦連接,配套軟件功能齊全,具有多樣數(shù)據(jù)采集及處理方式,適用于不同用戶的需要。

產(chǎn)品詳細(xì)資料

  • 儀器采用消光法自動測量薄膜厚度和折射率,具有精度高、靈敏度高以及自動控制等特點(diǎn)。光源采用氦氖激光器,功率穩(wěn)定波長精度高。
  • 儀器采用PCI接口與電腦連接,配套軟件功能齊全,具有多樣數(shù)據(jù)采集及處理方式,適用于不同用戶的需要。

測量范圍

薄膜厚度范圍:1nm-300nm;折射率范圍:1-10

偏振器方位角范圍

0°-180°讀取分辨率為0.05°

入射光波長

650nm(半導(dǎo)體激光器)/ 632.8nm(氦氖激光器)。

偏振器步進(jìn)角

0.014°/

入射角調(diào)節(jié)范圍

20°- 90°精度≤0.05°

測量膜厚

±0.5nm

光學(xué)中心高

80mm

折射率重復(fù)性精度

±0.05

測量厚度zui小示值

≤1nm

儀器測量精度

±0.5nm(薄膜厚度在10-100nm時)

允許樣品尺寸

φ10-φ140mm,厚度≤15mm

外形尺寸

580×390×320(mm)

度盤刻度

每格1度

主機(jī)重量

28kg

TPY-2實(shí)驗(yàn)主機(jī)、電控系統(tǒng)、PCI接口、二氧化硅膜樣片、配套軟件

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