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能量色散X射線熒光光譜儀綜合了常規(guī)測試(普通模式)和*的光路系統(tǒng)測試(超銳模式)，普通模式能完成全元素，貴金屬，RoHS，鍍層等常規(guī)測試，超銳模式能對客戶比較關(guān)心的低含量元素進行測試。主要是使用儀器*超銳光路系統(tǒng)，降低儀器的背景噪音，提高儀器的檢出能力，從而提高儀器的整體檢測性能。
功能：
能量色散X射線熒光光譜儀是基于X射線的一種分析手段，當一束高能粒子與原子相互作用時，如果其能量大于或等于原子某一軌道電子的結(jié)合能，將該軌道電子逐出，形成一個空穴使原子處于激發(fā)態(tài)，由于激發(fā)態(tài)不穩(wěn)定，外層電子向空穴躍遷使原子恢復到平衡態(tài)，躍遷時釋放出的能量以輻射的形式放出便產(chǎn)生X熒光。X熒光具有特征的波長，對應(yīng)的即是特征的能量，通過對光子的特征波長進行辨識，能實現(xiàn)對元素的定性分析，通過探測特征波長的X射線光子的強度，實現(xiàn)元素的定量和半定量分析。
基本原理
當能量高于原子內(nèi)層電子結(jié)合能的高能X射線與原子發(fā)射碰撞時，驅(qū)逐出一個內(nèi)層電子而出現(xiàn)一個空穴，使整個原子體系處于不穩(wěn)定的激發(fā)態(tài)，然后原子體系會由激發(fā)態(tài)自發(fā)的躍遷到能量低的狀態(tài)，這個過程稱為弛豫過程。弛豫過程既可以是非輻射躍遷，也可以是輻射躍遷。當較外層的電子躍遷到空穴時，所釋放的能量隨即在原子內(nèi)部被吸收而逐出較外層的另一個次級光電子，此稱為俄歇效應(yīng)，亦稱次級光電效應(yīng)或無輻射效應(yīng)，所逐出的次級光電子稱為俄歇電子。它的能量是特征的，與入射輻射的能量無關(guān)。當較外層的電子躍入內(nèi)層空穴所釋放的能量不在原子內(nèi)被吸收，而是以輻射形式放出，便產(chǎn)生X射線熒光。X射線熒光的能量或波長是特征性的，與元素有一一對應(yīng)的關(guān)系。
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