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掃描電子顯微鏡組成部分

來(lái)源:昆山瑞塞奇精密儀器有限公司   2023年07月04日 14:01  
   掃描電子顯微鏡,簡(jiǎn)稱為掃描電鏡,英文縮寫SEM(Scanning Electron Microscope)。它是用細(xì)聚焦的電子束轟擊樣品表面,通過(guò)電子與樣品相互作用產(chǎn)生的二次電子、背散射電子等對(duì)樣品表面或斷口形貌進(jìn)行觀察和分析。SEM已廣泛應(yīng)用于材料、冶金、礦物、生物學(xué)領(lǐng)域。
  通常人眼能夠分辨的最小距離為0.2MM,為了觀察分析更微小的細(xì)節(jié),人們發(fā)明了各種觀察儀器。
  首先出現(xiàn)的是光學(xué)顯微鏡,它利用可見光作為照明束照射樣品,再將照明束與樣品的作用結(jié)果由成像放大系統(tǒng)處理,構(gòu)成適合人眼觀察的放大像。一般而言光學(xué)顯微鏡能分辨的最小距離約為200um,是人眼的一千倍。
  為突破光學(xué)顯微鏡的分辨極限,人們想到用電子束做照明束,并與上個(gè)世紀(jì)三十年代制造出了第一臺(tái)掃描電子顯微鏡。它的分辨率已經(jīng)達(dá)到了原子水平(≈0.1um),比光學(xué)顯微鏡提高了近兩千倍。
  電子光學(xué)系統(tǒng)
  組成:電子槍、電磁透鏡、掃描線圈和樣品室等部件。
  作用:獲得掃描電子束、作為產(chǎn)生物理信號(hào)的激發(fā)源。
  信號(hào)收集和顯示系統(tǒng)
  信號(hào)收集:二次電子和背散射電子收集器、吸收電子顯示器、X射線檢測(cè)器(波譜儀和能譜儀)
  顯示系統(tǒng):顯示屏有兩個(gè),一個(gè)用于觀察,一個(gè)用于記錄照相。
  真空系統(tǒng)
  組成:機(jī)械泵、擴(kuò)散泵
  作用:保證電子光學(xué)系統(tǒng)正常工作,提供高真空度,防止樣品污染,保持燈絲壽命,防止極間放電。
  電源系統(tǒng)
  包括啟動(dòng)的各種電源,檢測(cè)-放大系統(tǒng)電源,光電倍增管電源,真空系統(tǒng)和成像系統(tǒng)電源燈。還有穩(wěn)壓、穩(wěn)流及相應(yīng)的安全保護(hù)電路。

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