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ATOS E-ATR-8壓力傳感器工作原理
ATOS E-ATR-8壓力傳感器的工作原理基于壓阻效應(yīng),通過(guò)半導(dǎo)體材料的電阻率變化實(shí)現(xiàn)壓力到電信號(hào)的轉(zhuǎn)換。以下是其工作原理的詳細(xì)解析:
一、核心原理:壓阻效應(yīng)
當(dāng)壓力作用于傳感器膜片時(shí),膜片內(nèi)部的電阻值發(fā)生變化。這種變化源于單晶硅材料在受力時(shí)電阻率的變化,而非單純幾何形變,因此靈敏度比金屬應(yīng)變計(jì)高50-100倍。
二、信號(hào)轉(zhuǎn)換流程
壓力感知
外界壓力使硅膜片發(fā)生形變。膜片設(shè)計(jì)為周邊固支的圓形,直徑與厚度比約為20-60,確保對(duì)壓力變化的敏感響應(yīng)。
電阻變化
膜片上的擴(kuò)散電阻(通過(guò)集成電路工藝形成)因形變導(dǎo)致電阻值變化。具體而言,壓力引起硅晶格變形,改變載流子遷移率,從而導(dǎo)致電阻率變化。
電橋輸出
電阻變化打破惠斯通電橋平衡,輸出與壓力成比例的電壓信號(hào)。例如,在4-20mA電流輸出模式下,信號(hào)范圍與壓力量程(如0-400bar)嚴(yán)格對(duì)應(yīng)。
信號(hào)處理
內(nèi)置放大電路對(duì)微弱信號(hào)進(jìn)行放大,并通過(guò)溫漂補(bǔ)償功能確保長(zhǎng)期穩(wěn)定性。補(bǔ)償范圍通常覆蓋-20℃至100℃,消除溫度對(duì)測(cè)量精度的影響。
三、技術(shù)特點(diǎn)支撐
高精度與穩(wěn)定性
壓阻效應(yīng)的高靈敏度(可達(dá)0.1%FS重復(fù)性精度)結(jié)合溫漂補(bǔ)償,使傳感器在惡劣工況下仍能保持性能。例如,在液壓系統(tǒng)中,壓力波動(dòng)控制精度可達(dá)±0.3bar。
抗過(guò)載能力
膜片設(shè)計(jì)(如直徑與厚度比20-60)與材料選擇(如N型硅)提升了對(duì)壓力峰值的抵抗力,過(guò)載能力可達(dá)額定壓力的150%。
輸出兼容性
提供4-20mA電流或0-10V電壓信號(hào),適配多數(shù)工業(yè)控制系統(tǒng)。電流信號(hào)抗干擾能力強(qiáng),適合長(zhǎng)距離傳輸;電壓信號(hào)分辨率高,適用于精密控制。
四、應(yīng)用實(shí)例驗(yàn)證
液壓系統(tǒng)
在注塑機(jī)、壓鑄機(jī)等設(shè)備中,傳感器實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)壓力并反饋至閉環(huán)控制系統(tǒng),使壓力波動(dòng)從±2.5bar降至±0.3bar,能耗降低18%。
新能源汽車(chē)
在電池包壓力管理系統(tǒng)中,傳感器檢測(cè)電解液泄漏導(dǎo)致的壓力異常,其0.1%FS精度滿(mǎn)足功能安全ASIL D等級(jí)要求,熱失控預(yù)警時(shí)間提前37秒。
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