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ATA-2161高壓放大器基于單端接觸原理的LED外延片無損檢測的應(yīng)用

來源:西安安泰電子科技有限公司   2025年06月06日 18:30  

  實(shí)驗(yàn)名稱:基于單端接觸原理的LED外延片無損檢測

  實(shí)驗(yàn)內(nèi)容:基于單注入模式,使用新型檢測系統(tǒng)獲取LED外延片的電學(xué)參數(shù)與光學(xué)參數(shù)。

  研究方向:LED外延片檢測

  測試設(shè)備:光譜儀、函數(shù)信號發(fā)生器、ATA-2161高壓放大器、顯微鏡及成像系統(tǒng)、示波器、電腦等。

  實(shí)驗(yàn)過程:


實(shí)驗(yàn)裝置原理圖


  圖1:實(shí)驗(yàn)裝置原理圖

  首先對LED外延片進(jìn)行光致發(fā)光(PL)測試,通過光譜儀獲取峰值波長。然后,將測試設(shè)備按圖1所示連接完畢后,將待測LED外延片放置在ITO玻璃上,緩慢下降探針,直至LED外延片產(chǎn)生電致發(fā)光現(xiàn)象。通過光譜儀獲取峰值波長,示波器獲取電學(xué)參數(shù)。最后,使用傳統(tǒng)的電致發(fā)光(針測)對LED外延片進(jìn)行測試。在保證光譜儀軟件顯示的相對強(qiáng)度在一致或接近時(shí),獲取LED外延片的電學(xué)參數(shù)和光學(xué)參數(shù)。

  實(shí)驗(yàn)結(jié)果:


SC-EL所獲得的光學(xué)參數(shù)與針測所獲得的光學(xué)參數(shù)


  圖2:SC-EL所獲得的光學(xué)參數(shù)與針測所獲得的光學(xué)參數(shù)


SC-EL所獲得的光學(xué)參數(shù)與針測所獲得的光學(xué)參數(shù)


  圖3:SC-EL所獲得的光學(xué)參數(shù)與針測所獲得的光學(xué)參數(shù)

  由于針測獲得的數(shù)據(jù)具有可靠性,因此將其作為標(biāo)準(zhǔn)值來比較PL測試與單端接觸電致發(fā)光(SC-EL)測試所獲得數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,SC-EL所獲得的光學(xué)參數(shù)與針測所獲得的光學(xué)參數(shù)更加接近并且不會對LED外延片造成機(jī)械性損傷(如圖2、圖3所示)。此外,SC-EL所獲取的電學(xué)參數(shù)與針測所獲取的電學(xué)參數(shù)(反向漏電流)具有同樣的趨勢,可以反映針測所獲取數(shù)據(jù)的水平(如圖4所示)。


針測所獲取數(shù)據(jù)的水平


  圖4:針測所獲取數(shù)據(jù)的水平

  高壓放大器推薦:ATA-2161



  圖:ATA-2161高壓放大器指標(biāo)參數(shù)

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