在半導(dǎo)體制造過(guò)程中，靜電是一個(gè)需要嚴(yán)格控制的因素，因?yàn)榧词故俏⑿〉撵o電放電也可能損壞敏感的電子元件或?qū)е聣m埃粒子吸附在晶圓表面，從而影響產(chǎn)品的成品率和可靠性。

在整個(gè)半導(dǎo)體制造過(guò)程中都會(huì)產(chǎn)生靜電荷，主要由不同材料的接觸和分離引起。靜電荷通過(guò)三種方式影響生產(chǎn)率和良率，靜電荷會(huì)靜電吸引（ESA）空氣中的顆粒，從而導(dǎo)致晶圓和光罩的潛在良率損失。

日本SIMCO思美高產(chǎn)品在半導(dǎo)體領(lǐng)域的應(yīng)用主要集中在靜電控制和除靜電設(shè)備方面，以減少生產(chǎn)中的靜電和微粒對(duì)半導(dǎo)體制造過(guò)程的影響。SIMCO思美高的靜電控制和除靜電設(shè)備、離子棒和離子風(fēng)機(jī)等設(shè)備通過(guò)電暈放電產(chǎn)生正負(fù)離子，中和空氣和工作表面的靜電荷，從而減少靜電吸附和放電對(duì)半導(dǎo)體制造過(guò)程的影響。

離子風(fēng)棒

特點(diǎn)：

• 使用微脈沖高壓技術(shù)

• 靈活而強(qiáng)大的設(shè)置

• 的電暈線設(shè)計(jì)（無(wú)發(fā)射點(diǎn)）

μWire AeroBar 5711靜電消除器

特點(diǎn)：

• 微脈沖高壓技術(shù)

• 5711 AeroBar 遠(yuǎn)程控制器 

• 尺寸緊湊，的電暈線設(shè)計(jì)（無(wú)發(fā)射點(diǎn)）

應(yīng)用場(chǎng)景：

由于半導(dǎo)體制造過(guò)程對(duì)靜電極為敏感，SIMCO思美高的靜電控制產(chǎn)品在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用非常關(guān)鍵，以下是具體的應(yīng)用場(chǎng)景。

• 晶圓制造和處理

在晶圓制造過(guò)程中，離子風(fēng)槍如Top Gun可用于清潔和中和靜電，防止灰塵和其他微粒附著在晶圓表面，這可以避免因靜電吸引導(dǎo)致的污染問(wèn)題。

• 芯片組裝與封裝

在芯片的組裝和封裝階段，靜電可能會(huì)損壞集成電路。使用Simco-Ion的離子發(fā)生器、離子棒或離子風(fēng)槍可以幫助消除靜電，保護(hù)敏感元件。

• 測(cè)試和檢測(cè)設(shè)備

使用數(shù)顯靜電場(chǎng)測(cè)試儀，可以實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)工作環(huán)境中的靜電水平，確保生產(chǎn)環(huán)境處于安全靜電范圍內(nèi)，并驗(yàn)證防靜電措施的有效性。

• 自動(dòng)化生產(chǎn)線

對(duì)于高度自動(dòng)化的生產(chǎn)線，可以集成帶有光控感應(yīng)開(kāi)關(guān)的離子風(fēng)槍或者安裝離子棒，實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)靜電消除，保證生產(chǎn)線上的每個(gè)環(huán)節(jié)都受到靜電保護(hù)。